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凈化車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室等,是指將一定空間范圍之內(nèi)的空氣中的微粒子、有害氣體、細菌等之污物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍之內(nèi),給予特別之設計的房間。也即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準。目前凈化車間應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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按照凈化車間管理規(guī)定,凈化車間的級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說,所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間無塵是必然的要求。