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位移是和物體的位置在運(yùn)動(dòng)過程中的移動(dòng)有關(guān)的量,位移的測(cè)量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。其中光柵傳感器因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高(目前分辨率高的可達(dá)到納米級(jí))、抗干擾能力強(qiáng)、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工、檢測(cè)儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。精準(zhǔn)測(cè)量微觀物體的微小位移的能力,可用于檢測(cè)微量的危險(xiǎn)生物或化學(xué)試劑,完善微型機(jī)器人的運(yùn)動(dòng),精準(zhǔn)部署氣囊,以及檢測(cè)通過薄膜傳播的極弱聲波。
納米級(jí)位移傳感器又稱為線性傳感器,它分為電感式位移傳感器,電容式位移傳感器,光電式位移傳感器,位移傳感器超聲波式位移傳感器,k和納米位移計(jì)。
電感式位移傳感器KD5100是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件,接通電源后,在開關(guān)的感應(yīng)面將產(chǎn)生一個(gè)交變磁場(chǎng),當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時(shí),金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能量,使振蕩器輸出幅度線性衰減,然后根據(jù)衰減量的變化來完成無接觸檢測(cè)物體的目的。納米位移計(jì)NLS1X采用光譜共焦原理,測(cè)量光源為白光,通過判斷白光分解出來的各色波長與調(diào)節(jié)的物鏡焦距相匹配,再通過接收端的光譜分析儀分析出接收到的光的主波長,從而確定測(cè)量值。