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凈化工程的一般施工程序:粉塵作業(yè),無(wú)塵作業(yè)后,不允許交叉作業(yè)。 否則會(huì)影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說(shuō),在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后,可以進(jìn)行無(wú)塵操作。要說(shuō)凈化工程在發(fā)展的前景方面,形勢(shì)還是非常好的,市場(chǎng)需求更是一片大好。因?yàn)槲覀儑?guó)家的制藥、電子信息等行業(yè)都在迅速發(fā)展,所以對(duì)凈化工程行業(yè)的發(fā)展起到了帶動(dòng)的作用。在這里需要提醒大家的是自從我們國(guó)家的醫(yī)方面的改條文GMP-2010發(fā)布之后,既推動(dòng)了生物醫(yī)和食品化工行業(yè)的發(fā)展,也間接的推動(dòng)了凈化工程行業(yè)的發(fā)展。而且相關(guān)方面支持也讓凈化工程行業(yè)的發(fā)展機(jī)遇推到了非常好。100級(jí):是常用的凈化工程,除了對(duì)空氣中的塵埃數(shù)有要求,對(duì)空氣中細(xì)菌的濃度也有明確要求。一般用于醫(yī)行業(yè)進(jìn)行無(wú)菌制造,例如制造臨床用于植入人體內(nèi)的物品,藥生產(chǎn)。醫(yī)學(xué)科學(xué)實(shí)驗(yàn)也在此環(huán)境中,包括實(shí)驗(yàn)動(dòng)物飼養(yǎng)環(huán)境。
對(duì)不同潔凈度等級(jí)的潔凈室,產(chǎn)生粉塵和有害氣體的潔凈室,被排介質(zhì)毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位,應(yīng)單獨(dú)設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過(guò)25度。排風(fēng)系統(tǒng)有一般排風(fēng)系統(tǒng)、有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)、酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)、堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)等,凈化車間設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)實(shí)際情況選擇。
具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。凈化工程技術(shù)的興起不過(guò)是上個(gè)世紀(jì)的事情,但今天凈化技術(shù)發(fā)揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產(chǎn)品向著好的方向發(fā)展,對(duì)凈化車間的依賴度也越來(lái)越高。1級(jí):塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降,當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí),就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí),可能將電路腐蝕,因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外,液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。