真空箱注意事項(xiàng)：

真空箱經(jīng)多次使用后，會(huì)產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時(shí)應(yīng)更換門(mén)封條或調(diào)整箱體上的門(mén)扣伸出距離來(lái)解決。當(dāng)真空箱干燥溫度高于200℃時(shí)，會(huì)產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象（除6050、6050B、6051、6053外），此時(shí)拆開(kāi)箱體背后蓋板用內(nèi)六角扳手?jǐn)Q松加熱器底座，調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來(lái)解決。并且在工業(yè)烘箱內(nèi)部，也有設(shè)計(jì)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，主要由低噪聲風(fēng)機(jī)和風(fēng)道組成，讓烘箱內(nèi)部的溫度可以更加的均勻。

放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難，可在內(nèi)涂上適量油脂潤(rùn)滑。（如凡士林）

除維修外，不能拆開(kāi)左側(cè)箱體蓋（6090及6210型除外）以免損壞電器控制系統(tǒng)。

真空箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門(mén)玻璃切忌用有反應(yīng)的化學(xué)溶液擦拭，應(yīng)用松軟棉布擦拭。11.若真空箱長(zhǎng)期不用，將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)，以免電器元件受潮損壞，影響使用。

恒溫烤箱的清洗方法

1、把洗滌靈倒入裝有少量清水的噴壺里，注意濃度，水是洗滌靈10倍左右，這樣去污能力會(huì)強(qiáng)一點(diǎn)。

2、將兌好的洗滌靈溶液噴在烤箱內(nèi)有油污的地方，油污重的位置多噴點(diǎn)。

3、將廚房紙巾鋪在烤箱四壁后，重新在紙巾上再?lài)娨槐橄礈祆`水。

4、把備好的開(kāi)水放入烤箱，關(guān)上烤箱門(mén)，不通電，燜10分鐘。

5、10分鐘后取下紙巾，用蘸有洗滌靈水的紙巾擦拭油污，油污就擦掉了。

6、之后用干凈的抹布將烤箱擦拭干凈就可以了

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長(zhǎng)，防止?jié)窀g過(guò)程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。使用中溫500度烤箱，150度烘烤溫差比低溫250度烤箱要高2~5度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對(duì)齊

由于集成電路的制造過(guò)程是吳層的過(guò)程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱(chēng)為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱(chēng)為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開(kāi)門(mén)高溫滅菌烘箱等。產(chǎn)品種類(lèi)：烘箱、烤箱、電烘箱、電熱烘箱、恒溫烘箱、電焊條烘箱、可編程烘烤箱、精密烘箱、去氫烘箱、真空烘箱、防爆烘箱、浸漆干燥箱、電熱鼓風(fēng)干燥箱、熱風(fēng)循環(huán)烘箱、新型節(jié)能環(huán)保電熱烘箱、節(jié)能流水線(xiàn)烘道等大型烘箱設(shè)備。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。