光波超精密——超精密三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負(fù)載實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)動。

應(yīng)用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實(shí)驗(yàn)室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

基準(zhǔn)修正精度永不損失，導(dǎo)軌不用人為修正，補(bǔ)償，高頻雜波信號干擾測量精度高。氣膜剛度大，運(yùn)動平穩(wěn)，振幅小，且振動頻率接近，因此可完全避免和消除在高精度測量中振動對測量精度的影響，

光波超精密技術(shù)研究院——超精密三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌

氣浮導(dǎo)軌，簡單易行，即利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對懸浮，實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運(yùn)動，并具有高精度導(dǎo)引。氣浮導(dǎo)軌相位滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)有：1.無摩擦、磨損小、壽命長。氣模厚度極i小，且均勻度好，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系，即使在非常低速也不會產(chǎn)生爬行，運(yùn)動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護(hù)、清潔環(huán)保。

大理石氣浮導(dǎo)軌的便用要水

當(dāng)運(yùn)動件沿著承導(dǎo)件作直線運(yùn)動時(shí),承導(dǎo)件上的花崗石氣浮導(dǎo)軌起支承和導(dǎo)向的作用.為了保證花崗石導(dǎo)軌作用的實(shí)現(xiàn).在設(shè)計(jì)的時(shí)候要完成這些相應(yīng)的要求:

1.①定的導(dǎo)向精度.導(dǎo)向精度是指運(yùn)動件沿花崗石氣浮導(dǎo)軌移動的直線性,以及它與有關(guān)基面間的相互位置的準(zhǔn)確性.

2.運(yùn)動輕便平穩(wěn).工作時(shí),應(yīng)輕便省力,速度均勻,低速時(shí)應(yīng)無爬行現(xiàn)象.

3.良好的耐研磨性.導(dǎo)軌的耐研磨性是指導(dǎo)軌長期使用后.,能保持①定的使用精度.花崗石氣浮導(dǎo)軌在使用過程中要磨損.但應(yīng)使磨損量小,且磨損后能自動補(bǔ)償或便于調(diào)整.

4.足夠的剛度.運(yùn)動件所受的外力,是由花崗石氣浮導(dǎo)軌面承受的,故導(dǎo)軌應(yīng)有足夠的接觸剛度.為此,常用加大導(dǎo)軌面寬度,以降低導(dǎo)軌面比壓;設(shè)置輔助導(dǎo)軌,以承受外載.

5.溫度變化影響小.應(yīng)保證花崗石氣浮導(dǎo)軌在工作溫度變化的條件下.仍能正常工作.

6.結(jié)構(gòu)工藝性好.在保證花崗石氣浮導(dǎo)軌其它要求的前提下,應(yīng)使花崗石氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單.便于加工、測量、裝配和調(diào)整,降低成本.

花崗石氣浮導(dǎo)軌是花崗石構(gòu)件中常見的一種,由于選用了花崗石原料.具有了花崗石本身的優(yōu)勢,具有良好的穩(wěn)定性.能在重負(fù)荷下保持高精度.

導(dǎo)軌按軌面摩擦性質(zhì)可將導(dǎo)軌分為滑動導(dǎo)軌、滾動導(dǎo)軌、液體靜壓導(dǎo)軌、氣浮導(dǎo)軌、磁浮導(dǎo)軌。滑動導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單，剛性好，摩擦阻力大，連續(xù)運(yùn)行磨損快，制造中軌面刮研工序的要求很高。滑動導(dǎo)軌的靜摩擦因數(shù)與動摩擦因數(shù)差別大，因此低速運(yùn)動時(shí)可能產(chǎn)生爬行現(xiàn)象。

滑動導(dǎo)軌常用于各種機(jī)床的工作臺或床身導(dǎo)軌，裝配在動軌上的多是工作臺、滑臺、滑板、導(dǎo)靴、頭架等。導(dǎo)軌截面有矩形、燕尾形、V形、圓形等。重型機(jī)械中常將幾種截面形狀組合使用，共同承擔(dān)導(dǎo)向和支承的作用。

滑動導(dǎo)軌的特點(diǎn)

滑動導(dǎo)軌的特點(diǎn)是在導(dǎo)軌與滑動件之間使用了介質(zhì)，介質(zhì)的種類包括固態(tài)抗摩擦材料、油以及空氣等，滑動導(dǎo)軌也因此而分為不同的類型。

普通的抗摩擦導(dǎo)軌是在移動組件上安裝了一種固態(tài)抗摩擦材料，比如聚氯i乙烯或青銅混合材料等，以起到降低導(dǎo)軌摩擦力的作用?？鼓Σ敛牧蠎?yīng)設(shè)計(jì)有油槽，滿足移動組件和導(dǎo)軌表面之間油潤滑或其它形式潤滑的需要。

使用為廣泛的是液壓介質(zhì)，其中的典型代表就是靜壓導(dǎo)軌。在壓力作用下，液壓油進(jìn)入滑動組件的溝槽，在導(dǎo)軌和滑動組件之間形成一層油膜，將導(dǎo)軌和移動組件隔離開，這樣可以大大減少移動組件受到的的摩擦力，從而起到潤滑作用。

滾動導(dǎo)軌是在運(yùn)動部件與支承部件之間放置滾動體，如滾珠、滾柱、滾針或滾動軸承。滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是：摩擦系數(shù)不大予滑動導(dǎo)軌摩擦系數(shù)的1/10，靜摩擦因數(shù)與動摩擦因數(shù)差別小，不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，可用小功率電動機(jī)拖動，定位精度高，壽命長。