由于對(duì)零件形位公差的測(cè)量方式可以靈活多變，零件形狀不同測(cè)量方式就有一定的差異，但是無論什么形狀的零件都需要確定一個(gè)測(cè)量基準(zhǔn)，在統(tǒng)一的基準(zhǔn)上對(duì)零件進(jìn)行測(cè)量。對(duì)于平面度、位置度、垂直度、平行度及其他形位公差測(cè)量，能夠使用三坐標(biāo)測(cè)量的，優(yōu)先使用三坐標(biāo)進(jìn)行測(cè)量。

零件表面粗糙度測(cè)量

零件表面粗糙度測(cè)量時(shí)，采用粗糙度測(cè)量?jī)x進(jìn)行測(cè)量。

零件硬度測(cè)量

對(duì)金屬件表面硬度的測(cè)量，應(yīng)使用洛氏硬度計(jì)進(jìn)行測(cè)量；橡膠件硬度采用邵氏硬度計(jì)進(jìn)行測(cè)量。

作為測(cè)量被測(cè)量物的內(nèi)徑的裝置，有被稱作孔徑測(cè)量器的內(nèi)徑測(cè)量器。該內(nèi)徑測(cè)量器包括主體、具有與該主體螺紋配合的螺紋部且沿軸向進(jìn)退的測(cè)桿、設(shè)置于主體且沿與測(cè)桿的軸向大致正交的方向進(jìn)退的多個(gè)測(cè)量觸頭、和設(shè)置在這些測(cè)量觸頭與測(cè)桿之間且隨著測(cè)桿的軸向的進(jìn)退使測(cè)量觸頭沿與測(cè)桿的軸向大致正交的方向進(jìn)退的圓錐構(gòu)件。在該內(nèi)徑測(cè)量器中，設(shè)置于測(cè)桿的螺紋部的導(dǎo)程為 0.5mm，而且為了使測(cè)量觸頭的移動(dòng)量與測(cè)桿的進(jìn)退量相等，圓錐構(gòu)件的圓錐角 α 通常為大致 53 度。即，( 一個(gè)測(cè)量觸頭的移動(dòng)量 ) ＝ ( 測(cè)桿的進(jìn)退量 )×tan(α×1/2)，由于 tan(53×1/2) ≈ 0.5，因此，通過使圓錐角 α 為大致 53 度，測(cè)量觸頭的移動(dòng)量 ( 多個(gè)測(cè)量觸頭中的兩個(gè)測(cè)量觸頭的移動(dòng)量的合計(jì) ) 與測(cè)桿的進(jìn)退量相等。在這樣的內(nèi)徑測(cè)量器中，由于測(cè)桿的螺紋部的導(dǎo)程為 0.5mm，因此，測(cè)量者在測(cè)量很多的大小各異的被測(cè)量物時(shí)，為了使測(cè)量觸頭進(jìn)退而需要使測(cè)桿的螺紋部旋轉(zhuǎn)許多圈，存在操作性及作業(yè)效率較差這樣的問題。