往復真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵是靠活塞往復運動或旋轉(zhuǎn)將氣體吸入、壓縮并排出。經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。它們的優(yōu)點是新投入使用的泵真空度相對比較高，但是活塞是運轉(zhuǎn)部件，因此活塞的磨損是避免不了的，隨著檢修次數(shù)的增加工作真空度將不斷下降，直至滿足不了生產(chǎn)的要求。

真空泵轉(zhuǎn)子是真空泵的關(guān)鍵部件，其動平衡的好壞直接關(guān)系到真空泵整機的振動、噪聲的大小和性能的好壞。尤其在真空泵轉(zhuǎn)速不斷提高的情況下，真空泵轉(zhuǎn)子的動平衡顯得更加重要。

從真空技術(shù)、真空泵的現(xiàn)狀與發(fā)展方向為出發(fā)點，說明了無油真空泵的興起，水環(huán)式真空泵的出現(xiàn)及發(fā)展現(xiàn)狀；根據(jù)熱力學、質(zhì)量守恒、動力學等相關(guān)理論，利用相應的數(shù)學方程建立起無油真空泵工作過程中的有關(guān)數(shù)學模型，如能量平衡方程，質(zhì)量平衡方程、流量平衡方程等，同時還建立了工作過程中的泄漏數(shù)學模型，為真空機組性能的計算提供了理論依據(jù)。隨著國內(nèi)經(jīng)濟的高速發(fā)展國產(chǎn)真空泵油霧分離器采用了美國、德國進口膠水、濾材原材料，確保真空泵油霧分離器(真空泵排氣過濾器)的使用壽命和真空泵油霧分離器的過濾效果，減少真空泵使用故障率，提高生產(chǎn)效益和延使用壽命。