技術(shù)特征：

1.單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)，包括主體、主體中間的固定機(jī)構(gòu)和主體底端的拆卸機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述固定機(jī)構(gòu)包括固定柱(13)，所述主體的頂端設(shè)置有頂殼(1)，所述頂殼(1)的中間設(shè)置有操作門(7)，所述固定柱(13)位于操作門(7)的內(nèi)側(cè)兩端，所述操作門(7)的一側(cè)對(duì)應(yīng)于固定柱(13)的位置處設(shè)置有連接螺栓(14)，所述連接螺栓(14)的一側(cè)中間對(duì)應(yīng)于固定柱(13)的內(nèi)部設(shè)置有齒輪(15)，所述頂殼(1)的內(nèi)部?jī)蓚?cè)對(duì)應(yīng)于固定柱(13)的位置處設(shè)置有固定桿(3)，所述固定柱(13)的內(nèi)部?jī)蓚?cè)對(duì)應(yīng)于齒輪(15)的位置處設(shè)置有齒槽(16)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)，其特征在于：所述拆卸機(jī)構(gòu)包括限位板(21)，所述主體的底端中間設(shè)置有底座(6)，所述限位板(21)位于底座(6)的中間表面，所述底座(6)的一側(cè)中間設(shè)置有連接座(20)，所述限位板(21)的一側(cè)中間設(shè)置有限位螺栓(22)，所述底座(6)的內(nèi)部一側(cè)對(duì)應(yīng)于限位螺栓(22)的位置處開(kāi)設(shè)有螺紋孔(17)，所述底座(6)的兩側(cè)對(duì)應(yīng)于限位板(21)的位置處設(shè)置有限位滑槽(18)，所述限位滑槽(18)的一側(cè)對(duì)應(yīng)于底座(6)的位置處設(shè)置有帽檐(19)。

單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)，其特征在于：所述限位滑槽(18)的橫截面為矩形，且限位滑槽(18)的寬度與限位板(21)的寬度一致。

此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短，對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過(guò)程中所使用的化學(xué)試劑很少，對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。

隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來(lái)越先進(jìn)，對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求，清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。

清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小，半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來(lái)越敏感，而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響，實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率，還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗，清洗步驟約占整體步驟的33%。

此裝置一方面采用的水霧式噴淋，摒棄了普通打水管水量大，易積水的缺點(diǎn)，另一方面以可移動(dòng)小推車的形式，使用輕便牢靠水管與快速接頭，隨用隨收，靈活機(jī)動(dòng)，解決了處理場(chǎng)場(chǎng)地水管布排困難的問(wèn)題且不影響來(lái)往車輛。同時(shí)該裝置只需一人負(fù)責(zé)開(kāi)啟與關(guān)閉，便可兼做其他工作，很大程度的減少了人工，也達(dá)到了全天降塵的效果。現(xiàn)投入的八個(gè)噴淋點(diǎn)與購(gòu)買專業(yè)廠家的防塵設(shè)備相比，總費(fèi)用由數(shù)十萬(wàn)元降到三千元，小發(fā)明，也能帶來(lái)大效果！目前，該裝置現(xiàn)已移交給鋼渣處理場(chǎng)投入使用，相應(yīng)的操作規(guī)定已制定好并補(bǔ)充到安環(huán)體系文件中。

傳動(dòng)系統(tǒng)各層面性能對(duì)確保整機(jī)設(shè)備的穩(wěn)定性和穩(wěn)定性尤為重要。 關(guān)鍵由下列好多個(gè)（1）運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性；（2）運(yùn)動(dòng)的性；（3）傳動(dòng)系統(tǒng)構(gòu)造的剛度；（4）運(yùn)動(dòng)速率及運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性。電氣設(shè)備控制系統(tǒng)是全部設(shè)備的關(guān)鍵一部分，統(tǒng)籌規(guī)劃傳動(dòng)系統(tǒng)在每個(gè)清理槽的運(yùn)動(dòng)時(shí)鐘頻率，操縱閘閥及其清理加工工藝控制模塊的運(yùn)行狀態(tài)。 它立即關(guān)聯(lián)到設(shè)備的一切正常應(yīng)用、維護(hù)保養(yǎng)以及生產(chǎn)率。 全套控制系統(tǒng)以一臺(tái) PLC（可程序編程控制板）C2OOHG 為關(guān)鍵，觸摸顯示屏做為工業(yè)觸摸屏，溝通交流伺服控制系統(tǒng)做為圓晶挪動(dòng)的執(zhí)行器。