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蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。涂覆PVD涂層的的實例包括,鉆頭和針頭,以及用于各種裝置組件以及應(yīng)用的“磨損”部件。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
主要分類有兩個大種類: 蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜,具體則包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,溶膠凝膠法等等 。
真空鍍膜機(jī)-操作步驟
一、電控柜的操作;
開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。 開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后,關(guān)予抽,開前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源。
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺鍍膜機(jī)射、分子束外延鍍膜機(jī)和激光濺射沉積鍍膜機(jī)等很多種。主要是分成蒸發(fā)和濺射兩種。在真空鍍膜設(shè)備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。開機(jī)械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關(guān)換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘?;c靶材同在真空腔中。
真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要,直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進(jìn)入鍍膜室前一定要做到認(rèn)真的鍍前清潔處理。
真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。
在真空鍍膜機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)正常情況下,開動真空鍍膜機(jī)時,須先開水管,工作中應(yīng)隨時注意水壓。
在離子轟擊和蒸發(fā)時,應(yīng)特別注意高壓電線接頭,不得觸動,以防觸電。
鍍制多層介質(zhì)膜的鍍膜間,應(yīng)安裝通風(fēng)吸塵裝置,及時排除有害粉塵。
酸洗夾具應(yīng)在通風(fēng)裝置內(nèi)進(jìn)行,并要戴橡皮手套。
有機(jī)高分子鍍膜設(shè)備廠家