凈化車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

進(jìn)入無塵車間潔凈室凈化車間無菌車間有效更衣流程：

工作人員在更衣室的更衣、換鞋等行為應(yīng)遵守一定的順序，否則會帶來交叉污染，起不到衛(wèi)生防范的效果。

規(guī)范的順序應(yīng)為：

a.進(jìn)車間 一更換鞋、一更更衣、二更洗手、二更更衣、戴帽、緩沖手消毒、手部消毒、清水沖洗、雙手風(fēng)干、鞋底消毒進(jìn)入車間。

b.出車間 二更更衣、一更更衣、換鞋、出更衣室。

通過這樣的操作程序，能減少污染物、病菌帶入車間的可能。

　改變安徽車間凈化要求的溫濕度基數(shù)：維持安徽車間凈化達(dá)到一定的溫、濕度需耗用相應(yīng)的能量，提高要求的溫、濕度基礎(chǔ)可以節(jié)能能量，若空氣參數(shù)要求為22℃±2℃和35%-50%相對濕度，在夏季運(yùn)行中，如果安徽車間凈化內(nèi)空氣溫度控制在23℃，相對濕度控制在60%，此時凈化空調(diào)系統(tǒng)機(jī)器露出點(diǎn)即可由12.2℃提高到16.5℃，如果系統(tǒng)處理風(fēng)量按10000m3/H計，則運(yùn)行中可節(jié)省處理空氣的冷量消耗為36.27kWH，全天按16H計，則可節(jié)省冷量580.3kw/d。潔凈廠房凈化工程造價應(yīng)該重視源頭，加強(qiáng)凈化工程設(shè)計環(huán)節(jié)的控制：。

我們從過濾器說起,在潔凈無塵室中,無論是安裝在凈化空調(diào)機(jī)組未端的大風(fēng)量空氣過濾器還是安裝在有效送風(fēng)口的空氣過濾器,這些必需要有準(zhǔn)確性的運(yùn)行時間記錄和潔凈度及風(fēng)量作為更換依據(jù),如在常態(tài)的使用情況下,過濾器的使用壽命可以長達(dá)一年以上,如前端保護(hù)做的好過濾器的使用壽命可以長達(dá)二年以上一點(diǎn)問題也沒有,當(dāng)然這也要視空氣過濾器的質(zhì)量好壞而定,或許更長;