潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。

十萬(wàn)級(jí)潔凈車(chē)間溫度、濕度

無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈車(chē)間濕度控制在50-70%。

配電：潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。

潔凈車(chē)間相比普通車(chē)間的優(yōu)勢(shì)

潔凈度環(huán)境不同，潔凈車(chē)間可以確保并維持潔凈度，在過(guò)濾過(guò)程中，采用初、中效過(guò)濾器外，還會(huì)進(jìn)行過(guò)濾，將空氣中活的微生物進(jìn)行消毒，保證車(chē)間內(nèi)空氣潔凈度；潔凈車(chē)間凈化工程中送風(fēng)量要比普通車(chē)間大很多，一般情況下，普通車(chē)間8-10次/H換氣，單向流潔凈車(chē)間400-600次/H換氣；潔凈車(chē)間內(nèi)必須時(shí)刻保持正壓狀態(tài)，防止外界污染物進(jìn)入潔凈區(qū)，而普通車(chē)間并不注重這些。