潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。

潔凈車(chē)間相比普通車(chē)間的優(yōu)勢(shì)

潔凈度環(huán)境不同，潔凈車(chē)間可以確保并維持潔凈度，在過(guò)濾過(guò)程中，采用初、中效過(guò)濾器外，還會(huì)進(jìn)行過(guò)濾，將空氣中活的微生物進(jìn)行消毒，保證車(chē)間內(nèi)空氣潔凈度；潔凈車(chē)間凈化工程中送風(fēng)量要比普通車(chē)間大很多，一般情況下，普通車(chē)間8-10次/H換氣，單向流潔凈車(chē)間400-600次/H換氣；潔凈車(chē)間內(nèi)必須時(shí)刻保持正壓狀態(tài)，防止外界污染物進(jìn)入潔凈區(qū)，而普通車(chē)間并不注重這些。

潔凈車(chē)間應(yīng)用的行業(yè)：

半導(dǎo)體 ： 半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)，由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。 隨著潔凈車(chē)間在各個(gè)行業(yè)的普及，快速替代了普通的生產(chǎn)車(chē)間，潔凈車(chē)間與普通車(chē)間相比，具有哪些特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)呢？潔凈車(chē)間在空氣過(guò)濾方式、送風(fēng)量、氣壓、人員與物品進(jìn)出管理等方面都有著嚴(yán)格處理方案。  

潔凈室的行業(yè)應(yīng)用：

1.潔凈室是一個(gè)很多需要潔凈的行業(yè)必須要建造的一項(xiàng)工程，目前在生物研究、精密制造、生產(chǎn)、電子信息、半導(dǎo)體、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，潔凈室還可以根據(jù)客戶(hù)需要的潔凈級(jí)別來(lái)建造。

2.另外對(duì)級(jí)別要求較高的生產(chǎn)廠家，如航空、生物研究等，都可以建造較的潔凈室，當(dāng)然成本也很高。潔凈室是控制產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的一項(xiàng)工程，沒(méi)有潔凈室，很多工業(yè)的敏感零件就不可能批量生產(chǎn)。潔凈室是密封的，并在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的灰塵、有害氣體、并控制潔凈室內(nèi)溫度、壓力、風(fēng)速等。潔凈室能維持生產(chǎn)需要的工作環(huán)境，不受外界影響。