氦質(zhì)譜檢漏儀

因此所有的真空部件在出廠時都要測試泄漏率指標。通常情況下，真空部件的泄漏檢測都是應用氦質(zhì)譜檢漏，檢漏時構(gòu)造一個臨時的密閉空間，利用氦質(zhì)譜檢漏儀抽空后噴氦查找漏點（泄漏指標異常處）。氦質(zhì)譜檢漏儀操作簡單，響應快，精度高，將真空波紋管一端連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口上，另一端連接到氣瓶夾層

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支持正壓檢漏，負壓檢漏

自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結(jié)果

優(yōu)化設計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應

高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦

支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底

機器的性能支持7*24小時長時間在線測試

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工業(yè)用氦：氦含量≥99%，≤43℃.

純氦分三級：優(yōu)等品氦含量≥99.995%；一等品氦含量≥99.993%；合格品氦含量≥99.99%。

高純氦分為三級：優(yōu)等品氦含量≥99.9996%；一等品氦含量≥99.9993%；合格品氦含量≥99.999%。氦氣在氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用，純度要求不高，一般選用工業(yè)用氦，即氦含量≥99%，≤43℃。

高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。