氦質譜檢漏儀的進展

經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。

集中體現在如下幾個方面：

（1）便攜式：近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。

例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。

另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。

氦質譜檢漏儀的應用拓展（四）

（1）制冷行業(yè)

冰箱、空調、汽車用空調、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。

（2）不銹鋼保溫器皿

真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（3）其它

據日本有關文章介紹，日本汽車制造業(yè)，已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、汽車輪轂。

有待于開拓的檢漏領域還很多，但由于思想觀念的束縛以及經費等諸多原因，在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產品合格率和生產效率低。從某種意義上講，這種工作方式制約了生產力的發(fā)展。（6）制冷行業(yè)冰箱、空調、汽車用空調、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。因此，對于真空專業(yè)技術人員，特別是從事真空設備的研制和生產氦質譜檢漏儀的專業(yè)廠家，應在氦質譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫，為推動我國真空技術的發(fā)展而努力。

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氦質譜檢漏儀的工作原理

今天科儀的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀的工作原理，希望對您有所幫助！

氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區(qū)分開來。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。儀器對其示漏氣體氦氣有響應信號，而對其他氣體沒有響應，從而檢漏。

氦氣檢漏

氦質譜檢漏的檢測精度高，可達到1×10-7Pa·m3/s。電池氦檢前先將電池里的空氣抽掉，然后注入氦氣，用氦質譜檢漏儀探測有沒有氦氣漏出，從而判斷電池的氣密性是否完好。電池氦檢一般為兩種方式：一種是在電池生產的中間環(huán)節(jié)，即在電池烘干注液之前進行檢漏，電芯在真空箱內充氦氣及檢測，此法可以檢測電池蓋板、蓋板焊接及電芯殼體等部位的氣密性是否達標；另一種是在成品環(huán)節(jié)檢漏，電芯在箱外充氦，電芯注入電解液的同時將氦氣充入電芯內部，然后將電池放入真空箱內進行檢漏。筆者根據實測經驗，兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右，即如果第1次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。