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廣州潽拓—專業(yè)維修保養(yǎng)pfeiffer hipace 80普發(fā)分子泵

分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機械泵，因此對平衡的要求很高，普發(fā)Hipace80，

對固體異物非常脆弱，通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網(wǎng)。

分子泵在工作過程中，如果壓強突然惡化，則有可能損壞葉片。

我司從事機電自動化，光電存儲媒體，半導(dǎo)體，醫(yī)liao，太陽能電池板,玻璃鍍膜,科學(xué)研究所等真空鍍膜設(shè)備維修，銷售，設(shè)計，開發(fā)及系統(tǒng)工程，軟件開發(fā)，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一線品牌分子泵,真空泵,真空計專業(yè)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務(wù)。真空泵的沖洗管一般采用正沖洗，即利用密封介質(zhì)本身由泵入口通過沖洗管引入密封腔沖洗密封端面，目的是帶走機械密封摩擦副產(chǎn)生的熱量，降低密封端面溫度，防止雜質(zhì)和固體顆粒沉積及氣體滯留等

廣州潽拓——專業(yè)維修PFEIFFER DUO 3

雙級旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋轉(zhuǎn)式排量泵。泵系統(tǒng)包括一個殼 體 (1)、一個偏心地

安裝的轉(zhuǎn)子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動的葉片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口閥（如配置）被設(shè)計為真空安全閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀 態(tài)。

工作室 (5) 位于殼體內(nèi)，并受到定子、轉(zhuǎn)子和葉片的限 制。偏心安裝的轉(zhuǎn)子和葉

片將工作室分為具有可變?nèi)莘e的兩 個獨立艙。當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動時，氣體流入擴大的吸入

室直至其被 第二個葉片封住。封閉氣體然后進行壓縮，直到出口閥沖破 大氣壓力

而開啟。出口閥是油封的。當(dāng)閥打開時，少量的油進入吸入室，不僅能夠?qū)ζ溥M行

潤 滑，而且能夠?qū)⑷~片與殼體（定子）密封開來。

旋片式真空泵的工作原理

在氣鎮(zhèn)操作的情況下，一個孔向外側(cè)打開，讓氣體流入前側(cè) 的密封吸入室。因此，

在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下 達到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始

冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮(zhèn)達到的終壓力 高于無

氣鎮(zhèn)操作所達到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個任務(wù)要 執(zhí)行。它潤滑所有移動

部件，填充出口閥下的固定空間以及 縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工

作室之間的間 隙，此外還通過熱傳遞確保溫度平衡。

多級泵

旋片式真空泵是內(nèi)置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實現(xiàn) 相對更低的極限壓力。

此外，氣鎮(zhèn)對極限壓力的影響較低， 因為氣鎮(zhèn)僅允許在高壓力級使用。

真空安全閥

根據(jù)所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。 真空安全閥在有意或意

外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對泵系統(tǒng)進行排氣，防止油液

上升到真空室 中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓 力，它

稍作延遲就打開。

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Pfeiffer TMH071P渦輪分子泵是德國普發(fā)經(jīng)典的分子泵之一，其轉(zhuǎn)速為90000rpm,大量應(yīng)用于分析儀器如氦質(zhì)譜檢漏儀，及小型分子泵組中。

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