真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。 

周?chē)h(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用；而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒(méi)有經(jīng)過(guò)清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣，要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。

真空鍍膜技術(shù)一般分為兩大類(lèi)，即物理氣相沉積（PVD）技術(shù)和化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)。比如，拋光時(shí)會(huì)把車(chē)漆堅(jiān)固的漆釉磨掉，這是物理層面的傷害，這對(duì)車(chē)還是有損害的。物理氣相沉積技術(shù)是指在真空條件下，利用各種物理方法，將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子，直接沉積到基體表面上的方法。制備硬質(zhì)反應(yīng)膜大多以物理氣相沉積方法制得，它利用某種物理過(guò)程，如物質(zhì)的熱蒸發(fā)，或受到離子轟擊時(shí)物質(zhì)表面原子的濺射等現(xiàn)象，實(shí)現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)到薄膜的可控轉(zhuǎn)移過(guò)程。

鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導(dǎo)磁軟磁鐵氧體小磁芯體積小、性能高、用量大；這些產(chǎn)品的表面必須采用Parylene來(lái)涂上一層保護(hù)層，以增強(qiáng)產(chǎn)品表面的絕緣性、堅(jiān)固性、光滑性。這種涂層是傳統(tǒng)的還氧噴涂所無(wú)法達(dá)到的；稀土永磁產(chǎn)品在汽車(chē)、音箱、磁療、電機(jī)等領(lǐng)域的運(yùn)用越來(lái)越廣泛。但是這類(lèi)產(chǎn)品表面的耐腐蝕要求非常高。在國(guó)外除了心臟起搏器用派瑞林進(jìn)行可靠絕緣防護(hù)外，腦電極、植入式傳感器、射頻、血液分析傳感器和高頻手術(shù)刀等微型電子，也都有使用派瑞林。普通的電鍍、電泳處理的后的產(chǎn)品的耐鹽霧時(shí)間僅能達(dá)到70-100小時(shí)。而采用Parylene可以達(dá)到300-500小時(shí)。其耐腐蝕時(shí)間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補(bǔ)穩(wěn)定特性制作）。