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氫氣檢漏法的優(yōu)勢
制冷、空調行業(yè)檢漏技術的現狀:在產品部件生產過程中,目前常使用氦檢漏技術來查找微小的泄漏,而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。產品裝配完成并充入制冷劑之后,可能在出廠前還會使用鹵素檢漏儀對整個產品再進行一次檢漏。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏,因此長期以來,氦檢漏技術是制冷、空調行業(yè)中的檢小漏的手段,吸槍式氦檢漏技術一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。但是,以氦氣作為示漏氣體,也有一些不足之處,例如橡膠、塑料等有機材料常常會吸收氦氣,在吸收后慢慢地釋放出來;所有的氦氣檢漏儀器機構的離子收集板,對氦氣都會產生記憶效應,即氦離子打到離子收集板上,并儲存一定時間,然后再慢慢釋放出來,從而造成本底的噪音等問題。
無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用,這種檢漏方法已經在各個行業(yè)領域內得到了廣泛使用。與氦氣相比,使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價格非常低廉,很容易在各個氣體供應商處購得。當泄漏點與探頭距離很近時,超聲波轉換器的靈敏度可達1′10-2cm3/s?,F今的氫氮混合氣檢漏技術可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相當于0.1g/y,其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20,同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設備,如氦氣回收系統(tǒng)等。
在各種檢漏應用場合中,氫氣檢漏法的出現為您帶來了更大的性能和效率的改善提高機會。氫氮混和氣檢漏法已在國內外廣泛應用于制冷、空調、汽車零部件、發(fā)動機、變速箱、減速機、閥門、藥品包裝、飛機油箱油路及其他密封件或管路檢漏。氫氣檢漏法檢測靈敏度高、節(jié)約成本、操作簡便,將是以后檢漏技術的發(fā)展趨勢。
真空設備檢漏
氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀,通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。而對氦的檢測則使用的是質譜儀,是只檢測氦的專用質譜儀,這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。質譜儀要想正常工作,需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下,空氣的流動才體現為分子流,質譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。