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感應(yīng)加熱式蒸發(fā)鍍膜
利用高頻電磁場感應(yīng)加熱,使材料汽化蒸發(fā)在基片表面凝結(jié)成膜的技術(shù)。
優(yōu)點蒸發(fā)速率大,可比電阻蒸發(fā)源大10倍左右 蒸發(fā)源的溫度穩(wěn)定,不易產(chǎn)生飛濺現(xiàn)象坩堝溫度較低,坩堝材料對膜導(dǎo)污染較少缺點蒸發(fā)裝置必須屏蔽造價高、設(shè)備復(fù)雜
在真空中,高能粒子轟擊材料表面,使其原子獲得足夠的能量而逸出表面,到達(dá)襯底凝結(jié)成膜的技術(shù)。
與真發(fā)鍍膜相比,濺射鍍膜適用于所有(包括高熔點)材料,具有附著力強(qiáng)、成分可控、易于規(guī)模化生產(chǎn)等優(yōu)點。
但其工作氣壓低于蒸發(fā)鍍膜,因此膜層的含氣量和孔隙率大于蒸發(fā)鍍膜。
氮化鉻涂層 (CrN)
CrN涂層具有良好的抗粘結(jié)性,抗腐蝕性,耐磨性。
用途:加工鋁合金,紅銅的刀具,注塑模具,零件(特別是有潤滑油浸泡)
5)DLC
DLC涂層的組成為TIN TICN DLC結(jié)構(gòu)。具有摩擦系數(shù)較低,
耐磨損,膜層應(yīng)力小好等優(yōu)點
用途:潤滑涂層,成型模具,鋁合金等粘結(jié)性強(qiáng)材料沖壓模具。
6)ZrN
ZrN不含Ti和Cr的單成膜,有較高的耐熱性,涂層顏色艷麗,在加工鋁鈦合金時可有效減少切削瘤