濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件

濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對(duì)濕度是無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對(duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括： 1、細(xì)菌生長; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

潔凈室的平面布局有哪些

潔凈室的平面布局 潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和輔助區(qū)三部分。 潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式： 外廊環(huán)繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。 內(nèi)廊式：潔凈室設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度級(jí)別一般都較高，甚至和潔凈室同級(jí)。 兩端式：潔凈區(qū)設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)潔凈和輔助用房。 核心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能。

手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)清潔保養(yǎng)

進(jìn)入手術(shù)室前，應(yīng)將各種儀器設(shè)備安裝完畢并擦拭干凈。會(huì)擦拭時(shí)，不建議將失去纖維的織物材料用作清潔工具。作業(yè)結(jié)束后，應(yīng)立即清除各種污垢，并將其分為防水、防污袋，密封后從污物通道中運(yùn)出。擦拭各種設(shè)備，整理手術(shù)室，避免長期呆在室內(nèi)的灰塵污染空氣。 當(dāng)所有人員離開，國家衛(wèi)生健康定時(shí)去清潔，這樣手術(shù)室空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)繼續(xù)運(yùn)行15-20分鐘，然后關(guān)閉層流空調(diào)，使室內(nèi)空氣潔凈。每天在手術(shù)前后，用消毒劑對(duì)無影燈、儀器車、臺(tái)、手術(shù)臺(tái)、壁柜等設(shè)備的表面和地面擦拭一次，對(duì)工作人員穿的隔離鞋進(jìn)行清潔消毒。每周對(duì)上述設(shè)備及地面進(jìn)行一次清潔保養(yǎng)。粗濾器、中濾器、回風(fēng)口各清洗一次，保證濾塵效果。粗濾器、中效過濾器、回風(fēng)網(wǎng)每2周定期用500mg/L含氯消毒劑（）濕洗，無菌切口率小于或等于0.2%。每月對(duì)潔凈手術(shù)部的空氣和設(shè)備表面進(jìn)行細(xì)菌培養(yǎng)取樣，檢測(cè)粉塵粒子數(shù)、噪聲、溫度和濕度，并對(duì)結(jié)果進(jìn)行登記歸檔。粗濾器和中間濾器每6個(gè)月更換一次。每年更換過濾器。

凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、空氣過濾器三三級(jí)過濾。100000 級(jí)空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合:初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段;空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端,空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞、空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用;阻力、效率相近的空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。

確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時(shí)，位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。