濕度控制是無(wú)塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件

濕度控制是無(wú)塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對(duì)濕度是無(wú)塵車間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過(guò)程,天津凈化工程為大家介紹一下相對(duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括： 1、細(xì)菌生長(zhǎng); 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

空調(diào)制冷迅速,節(jié)能顯著通常,潔凈室的溫度調(diào)節(jié)都是由中央空調(diào)將

空調(diào)制冷迅速,節(jié)能顯著 通常,潔凈室的溫度調(diào)節(jié)都是由中央空調(diào)將空氣冷卻后再送到潔凈室。種方法需要大量風(fēng)管進(jìn)行長(zhǎng)距離送風(fēng)，沿途阻力式損失和溫度損失造成很大的能源損耗。此外，也有將空調(diào)機(jī)裝在專用回風(fēng)直管內(nèi)，再由風(fēng)機(jī)和風(fēng)管將空氣送到送風(fēng)口的方法，這種方法雖然省去了中央空調(diào)，便是仍然需要專用的風(fēng)機(jī)和風(fēng)管，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高，占用有限的空間，不便于維修和操作空調(diào)機(jī)，風(fēng)機(jī)和風(fēng)管所造成的能源損失也較大。本方案采用冷風(fēng)管直接送風(fēng)的方式，將空調(diào)機(jī)產(chǎn)生的冷風(fēng)直接送到潔凈空氣主流區(qū)，冷風(fēng)的行程和，冷風(fēng)量集中，不須專用管閥件，節(jié)約了投資，安裝也更簡(jiǎn)單。更重要的是減少了這些管閥件的阻力損失和溫度損失，達(dá)到提節(jié)約能源的目的。

潔凈室的分類按用途分類

潔凈室的分類 按用途分類 按用途可分為兩大類： （1）工業(yè)潔凈室--以無(wú)生命的微粒作為控制對(duì)象。主要控制無(wú)生命微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓。它適用于精密工業(yè)、電子工業(yè)、宇航工業(yè)、原子能工業(yè)、印刷工業(yè)、照相工業(yè)等部門。 （2）生物潔凈室--以有生命的微粒為控制對(duì)象，又可分為： ①一般生物潔凈室。主要控制有生命微粒對(duì)工作對(duì)象的污染。同時(shí)內(nèi)部材料要經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保持正壓?？捎糜谥扑幑I(yè)、食品工業(yè)、設(shè)施、實(shí)驗(yàn)設(shè)施等。 ②生物安全潔凈室。主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染，內(nèi)部需保持負(fù)壓。用于實(shí)驗(yàn)設(shè)施、生物工程、設(shè)施等。 按氣流分類 按氣流可分為四類： ⑴單向流潔凈室 ⑵非單向流潔凈室（亂流潔凈室） ⑶矢角流潔凈室 ⑷混合流潔凈室（局部單向流潔凈室）