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Leybold復合分子泵死機真空機械泵「多圖」

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發(fā)布時間:2020-12-10 09:49  






         廣州潽拓光電科技有限公司是一家專業(yè)做萊寶分子泵維修、德國萊寶真空泵維修、原裝萊寶真空泵維修、萊寶渦輪分子泵維修的公司,專業(yè)萊寶分子泵保養(yǎng)維修,修理,萊寶復合分子泵維修,修理,現(xiàn)在針對廣州各地可以上門收件。




潽拓光電科技--真空泵的抽氣量

抽氣量是指對于給定氣體,在一定溫度下,單位時間內從泵吸氣口平面處抽除的氣體量。

流量是指在標準溫度下,當不存在放氣和漏氣的情況時,單位時間內流過泵或管路斷面的氣體量。單位為:Pa。L/s。流量單位

4)反壓力是指需要前級真空的真空泵,在一定的負荷下運轉時,其反

壓力升高到某一定值時,則泵失去正常的抽氣能力,該反壓力稱為反壓力。


潽拓光電科技--萊寶真空泵怎么樣

1. 從一大氣壓到壓力之間皆可運轉使用

2. 在低真空壓下,仍可保持良好的抽氣速度

3. 低噪音、低震動

4. 內置出口濾心,可達99.9%的油氣過濾效果

5. 排除水蒸氣的功能

6. 空氣冷卻,經(jīng)濟方便<也可選擇水冷冷卻>


潽拓光電科技--真空泵工作原理:

     Sogevac系列是萊寶真空里的單級油封式旋片真空泵。轉子偏心的安裝在泵腔(定子)內,轉子上有三個槽,旋片在里面自由的滑動。2、油霧真空泵排出的氣體中含有微量殘油,長期吸入有害健康,排放工藝氣體的房間必須有良好的通風條件。旋片把內部的空間分為三個腔。這些腔的容積隨著轉子的旋轉而變化。進入進氣腔的氣體被壓縮,然后由排氣閥排出泵外。由進氣腔注入的油起到密封、潤滑及冷卻的作用。油被壓縮的氣體帶動并且當進入油箱時由于重力的作用被粗略的分開。小的油分子進入排氣過濾器。內部的循環(huán)保證收集的油回到真空腔,循環(huán)由浮子閥控制,避免當收集系統(tǒng)里無油時大氣由油箱進入泵的進氣口。油循環(huán)由壓差保證。





潽拓光電科技---真空泵安全注意事項:

   1,真空泵按照專門技術和安全標準制造,如果安裝和使用不當,會出現(xiàn)危機情況和造成傷害。

  2、油霧

  真空泵排出的氣體中含有微量殘油,長期吸入有害健康,排放工藝氣體的房間必須有良好的通風條件。

  3、搬運

 真空泵搬運前,請確保已排盡真空泵油。我們還提供為半導體設備制造商高度專業(yè)化的解決方案,通過優(yōu)化過程監(jiān)控、分析和控制,幫助他們提高生產量,延長工具正常作業(yè)時間。真空泵注入油后,不能再搬運,傾斜真空泵會使大量的油進入泵腔內,啟動真空泵時會立即損壞葉片及真空泵?;蛘咴趩颖弥安鹦兜綦姍C風罩,按照泵運轉方向輕盤電機風葉,直到旋轉自如,力量均勻無明顯阻滯,此時泵油已由泵腔排至油箱,然后裝好電機風罩,開泵時前先點動兩次再開車。

潽拓光電科技---如何選擇真空泵:

1、敲缸,泵運轉時發(fā)出不規(guī)律的響聲,似金屬敲打金屬的聲音。這是旋片在擊打泵體發(fā)出的聲音。這種情況主要是配對旋片間的彈簧斷或者是收縮或彈出失效造成的。解決方法:打開泵檢查旋片彈簧是否損壞。更換好的彈簧。

2、排氣閥片噪音,主要是泵的排氣閥片破損。解決方法:更換好的排氣閥片。三、旋片式真空泵真空度下降:指當下測得的旋片式真空泵真空度比出廠指標或者以前使用時的真空度低。

潽拓光電科技---真空泵不能運轉原因

造成這個原因的可能是泵卡死了,解決方法?

1、關斷電源,斷開電機和控制器連接;

2、檢查電機,根據(jù)電機額定電壓,將電機接電源;

3、觀察電機是否運轉正常,如果不轉則可能是電機故障;

4、檢查控制器,用萬用表搭在控制器對電機的輸出線上;

5、調節(jié)控制器檢查是否給出電機的輸出電壓信號。

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

潽拓光電科技---真空泵的維修辦法:

一般萊寶選片真空泵,無論單級選片還是雙極選片,如SV100B或D16C,天津靜宜真空告訴你,維修時需要解體,清洗,然后組裝,調整,后測試真空度。如果是萊寶羅茨真空泵,WAU1001或者WAU2001,拆開需要專用工..

潽拓光電科技---真空泵使用過程出現(xiàn)問題:

1. 真空泵排氣口冒煙;

2. .真空泵噴油、漏油;

3. 真空泵噪音超標;

4. 真空度下降;

5. 真空泵發(fā)燙等現(xiàn)象;


廣州潽拓光電科技有限公司是一家專業(yè)做萊寶分子泵維修、德國萊寶真空泵維修、原裝萊寶真空泵維修、萊寶渦輪分子泵維修的公司,專業(yè)萊寶分子泵保養(yǎng)維修,修理,萊寶復合分子泵維修,修理,現(xiàn)在針對廣州各地均可收件。

廣州潽拓光--英國愛德華iH1800干式真空泵

概述:愛德華半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。英國愛德華iH1800干式真空泵維修


技術參數(shù)如下:


英國愛德華iH1800干式真空泵功能和優(yōu)勢:優(yōu)化了設施消耗。無需預防性維護。懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。在節(jié)省功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。還提供真空泵咨詢、真空泵問題解決、真空泵調試、真空泵維修等服務。整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器,而第五級泵消除了使用消音的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。


         廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設備研制、生產、銷售、工程安裝及售后維修服務于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設備技術研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術實力雄厚,充滿活力的高素質團隊。伴著嚴謹?shù)膬炔宽椖繉嵤┕芾?,控制制流程,確保每一項真空設備的工藝技術先進性和質量的優(yōu)佳性、可靠性。主要從事機電自動化,光電存儲媒體,半導體,太陽能電池板等真空鍍膜設備維修,銷售,設計,開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),承接等,是leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等一線品牌分子泵專業(yè)維修廠商。一般來說萊寶真空泵常使用在鍍膜行業(yè),因此對于萊寶真空泵的真空度要求很高,要求真空度長期穩(wěn)定。



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