壓電陶瓷微位移器是利用逆壓電效應(yīng)制作的新型的固態(tài)執(zhí)行器件，在精密光學(xué)、微型機械、微電子技術(shù)、計算機應(yīng)用等高新技術(shù)領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用[lj。2）能量控制型：如：電阻式、電感式、霍爾式等傳感器以及熱敏電阻、光敏電阻、濕敏電阻等。這些應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展要求壓電陶瓷器件向體積小、驅(qū)動電壓低、位移量大、能集成化的方向發(fā)展。壓電陶瓷微位移器是利用逆壓電效應(yīng)制作的新型的固態(tài)執(zhí)行器件，在精密光學(xué)、微型機械、微電子技術(shù)、計算機應(yīng)用等高新技術(shù)領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用[lj。這些應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展要求壓電陶瓷器件向體積小、驅(qū)動電壓低、位移量大、能集成化的方向發(fā)展。