潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。

凈化工程中空氣凈化處理方案

    ●凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞空氣過(guò)濾器代空氣過(guò)濾器。

   ●凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí)，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在空氣過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施。

   ●送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇，中效、空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。

    潔凈室用鞋要合腳且穿起來(lái)舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質(zhì)部分則采用與潔凈衣相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹(shù)脂（Vinyl），在使用過(guò)程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用，原則上以使用無(wú)粉之Vinyl手套為佳。

    口罩無(wú)塵車(chē)間一般要通過(guò)初效過(guò)濾、中效過(guò)濾、過(guò)濾等三個(gè)過(guò)濾段，氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過(guò)程，即可達(dá)到凈化目的?！　∈f(wàn)級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃，夏季24~26℃，動(dòng)搖±2℃；冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。