無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

無(wú)塵車(chē)間凈化設(shè)備的作用主要在于去除空氣中的懸浮顆粒物（灰塵、花粉等），殺滅吸附其上的病毒和細(xì)菌；同時(shí)吸附分解空氣中有毒有害氣體以提高室內(nèi)空氣清潔度，實(shí)現(xiàn)室內(nèi)空氣凈化，選購(gòu)空氣凈化設(shè)備時(shí)應(yīng)注意以下事項(xiàng)：  

一、安全性：經(jīng)過(guò)了部門(mén)的安全檢測(cè)認(rèn)證，保證凈化設(shè)備的使用安全

二、適用性：根據(jù)需要凈化的污染物種類選擇空氣凈化設(shè)備，或者直接選擇能夠?qū)崿F(xiàn)新風(fēng)的新風(fēng)系統(tǒng)。

三、使用壽命：隨著凈化過(guò)濾膽趨于飽和，凈化器的吸附能力將下降，所以消費(fèi)者應(yīng)選擇具有再生功能的凈化過(guò)濾膽，以延長(zhǎng)其壽命，選擇經(jīng)過(guò)質(zhì)量驗(yàn)證的產(chǎn)品，有質(zhì)量保證。

四、凈化效率：房間較大，應(yīng)選擇單位凈化風(fēng)量大的空氣凈化設(shè)備；例如15平方米的房間應(yīng)選擇單位凈化風(fēng)量在120立方米／小時(shí)的凈化設(shè)備

五、過(guò)濾材料：好的過(guò)濾材料(如空氣過(guò)濾器濾材)吸附0.3微米以上污染物的能力高達(dá)99.9%以上；如果室內(nèi)煙和塵污染較重，可選擇除塵效果較佳的凈化設(shè)備，如果空氣不流通，可以選擇新風(fēng)排氣的新風(fēng)系統(tǒng)。  

六、售后服務(wù)：應(yīng)選擇售后服務(wù)完善的廠家生產(chǎn)的產(chǎn)品。

清潔車(chē)間是指專門(mén)為控制房間的清潔和清除空氣中在規(guī)定范圍內(nèi)漂浮的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物而設(shè)計(jì)的房間。凈化工程公司對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過(guò)程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過(guò)程。