湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

輝光放電時，在放電管兩極電場的作用下，電子和正離子分別向陽極、陰極運動，并堆積在兩極附近形成空間電荷區(qū)。因正離子的漂移速度遠小于電子，故正離子空間電荷區(qū)的電荷密度比電子空間電荷區(qū)大得多，使得整個極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區(qū)域內(nèi)。該輝光離子滲氮爐包括內(nèi)隔熱屏，在內(nèi)隔熱屏內(nèi)壁上裝有發(fā)熱體，發(fā)熱體與電極間采用螺栓聯(lián)接，發(fā)熱體與內(nèi)壁由陶瓷絕緣體隔離絕緣，絕緣體由螺栓固定在隔熱屏內(nèi)壁上。這是輝光放電的顯著特征，而且在正常輝光放電時，兩極間電壓不隨電流變化 。

?選用正弦波中頻靶電源，由于波形的原因，靶面產(chǎn)生打弧的幾率更低并優(yōu)于雙極性矩形波中頻靶電源。更適合于對薄膜表面和膜層質(zhì)量要求較高的濺射工藝。同時輝光逐漸擴展到兩電極之間的整個放電空間，發(fā)光也越來越明亮。??一般來說，射頻輝光放電與直流及中頻交流脈沖輝光放電相比，可以在低一個數(shù)量級的氣體壓強狀態(tài)下進行(例如，1.0×1-2Pa)。??

根據(jù)電流脈沖個數(shù)及Lisajous圖形（X軸為外加電壓，Y軸為放電電荷量）的不同，他們提出了區(qū)分輝光放電和絲狀放電的方法，即若每個外加電壓半周期內(nèi)僅1個電流脈沖，并且Lisajous圖形為兩條平行斜線，則為輝光放電。兩個面積相等的電極置于射頻輝光放電等離子體中，不可能建立陰極靶表面的負偏壓，不可能產(chǎn)生濺射。若半周期內(nèi)多個電流脈沖，并且Lisajous圖形為斜平行四邊形，則為絲狀放電。