有機無機蒸發(fā)鍍膜儀

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有機無機蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu)，主要由二個有機材料生長室組成，兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接，其中一個生長室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對接接口，能夠完成二套獨立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。300D三源有機蒸發(fā)鍍膜機主要用途：特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體、有機EL、OLED顯示研究與開發(fā)領(lǐng)域。有機無機蒸發(fā)鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。