1、如果在管道外破損，用密封膠就可以修補(bǔ)；管道外表面的鋁箔層發(fā)生破損，而玻纖保溫層未發(fā)生損壞，則可選用一片合格的鋁箔片進(jìn)行管道鋁箔表面的修補(bǔ)。

2、如果破損已達(dá)到玻纖保溫層時(shí)，則可將破損的地方切割下來(lái)，另選一塊完好的板材，根據(jù)切割下來(lái)的玻板尺寸切割好，然后在四周接口上涂上修補(bǔ)膠及粘膠劑，根據(jù)工藝規(guī)范進(jìn)行密封，在風(fēng)管正常工作時(shí)就要經(jīng)常檢查以免耽誤工作。

因此將廢氣以一般風(fēng)車(chē)抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來(lái)源于化學(xué)清洗工作站，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過(guò)水洗中和處理，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

排氣：其主要來(lái)源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過(guò)程時(shí)所產(chǎn)生，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

風(fēng)管就位：風(fēng)管就位前應(yīng)檢查全部支架的水乎度和標(biāo)高、檢查支架的牢固程度，風(fēng)管就位可采用直接和吊具兩種方法。對(duì)風(fēng)管斷面較小，又位置較低的可采用人工就位方法，只需搭設(shè)簡(jiǎn)易腳手架即可。當(dāng)風(fēng)管斷面較大且管段較長(zhǎng)時(shí)，可采用滑輪、倒鏈、大繩等方法吊裝。為了便于風(fēng)道就位，一般多采用將風(fēng)道吊在腳手架上，然后再將其抬放在風(fēng)道支架上的方法。

 部件方面，設(shè)備如果和風(fēng)管連接，那支吊架要重新單獨(dú)設(shè)置，并且他不能夠成為風(fēng)管的吊點(diǎn)。 雙吊桿支架在風(fēng)道就位后，應(yīng)保證橫擔(dān)平直，吊桿不扭轉(zhuǎn)，雙吊桿受力均勻。風(fēng)管支吊點(diǎn)與風(fēng)口、風(fēng)閥和自動(dòng)控制機(jī)構(gòu)之間的距離，應(yīng)不小于200mm。風(fēng)道安裝時(shí)，進(jìn)、出風(fēng)日宜在風(fēng)道預(yù)制時(shí)開(kāi)出洞口，如需在安裝完畢的風(fēng)道上現(xiàn)開(kāi)風(fēng)口，其接口處應(yīng)嚴(yán)密。