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PE鍍膜后四周發(fā)白淺析,近期經(jīng)常接到客戶咨詢,石墨舟鍍膜后發(fā)現(xiàn)膜后的片子四周發(fā)白或四周發(fā)紅。并且如果是新舟直接用就沒有這個問題,用了循環(huán)后,清洗后就會發(fā)現(xiàn)這個問題。
這次就問題發(fā)生的原因做一個說明,并且給大家一些解決方法。
一般來說我們機臺出現(xiàn)問題基本上為三類,偏紅,正常藍,偏白(對應(yīng)表中的淡藍色,無明確的白色膜厚,此時的白色部分膜厚接近90左右)
硅片在PECVD工序之前是常規(guī)的灰白色,通過一定的化學反應(yīng)在片子表面生成一層膜。片子工藝結(jié)束后,就會得到我們需要的工藝顏色。
近年來,產(chǎn)品越來越多的服務(wù)于礦山系統(tǒng)、柴油機系統(tǒng)、鐵路系統(tǒng)以及高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。部分技術(shù)已達國內(nèi)水平。
石墨是有機成因的碳質(zhì)物變質(zhì)而成,常見于大理巖、片巖或片麻巖中。煤層可經(jīng)熱變質(zhì)作用部分形成石墨,而少量石墨則是火成巖的原生礦物。
工業(yè)上將石墨礦石分為晶質(zhì)(鱗片狀)石墨礦石和穩(wěn)晶質(zhì)(土狀)石墨礦石兩大類。晶質(zhì)石墨礦石又可分為鱗片狀和致密狀兩種。中國石墨礦石以鱗片狀晶質(zhì)類型為主,其次為隱晶質(zhì)類型,致密狀晶質(zhì)石墨只見于新疆托克布拉等個別礦床中,工業(yè)價值不大。
作為重要的戰(zhàn)略性非金屬礦產(chǎn)品,石墨行業(yè)將被實施準入管理。隨著準入制度的實施,石墨,石墨制品,將成為繼稀土、氟化工、磷化工后的又一個,該領(lǐng)域的龍頭公司將進入全新的發(fā)展階段。
石墨制品加工已愈來愈被各個工業(yè)部門所利用,石墨制品的市場是遠大而廣泛的,同時石墨制品加工將不斷超越。
石墨制品加工過程中,焙燒爐排放的廢氣里含有瀝青焦油,瀝青焦油燃燒產(chǎn)生瀝青煙,瀝青煙障礙人的呼吸,危害人類的健康。這些廢氣在國內(nèi)外治理方法主要采用電捕法、干吸法和焚燒法三種,北方電碳石墨模具廠家將治理方法分述如下:
電捕法:利用高壓靜電捕集焦油,在和沉淀極之間施加直流高電壓,使得負極放電,煙氣電離,生成大量正負離子在向負極移動的過程中與焦油霧滴相遇,并使之帶電,霧滴被電極吸引,從而被除去。