質(zhì)量流量控制器簡介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。

質(zhì)量流量計的原理

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目前，國內(nèi)使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計。

其原理如下：“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來測定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統(tǒng)）與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導系數(shù)； K -------儀表常數(shù)）

質(zhì)量流量計簡介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數(shù)，是一個因變量，而流體的質(zhì)量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、層流質(zhì)量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉(zhuǎn)子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學研究、生產(chǎn)過程控制、質(zhì)量管理、經(jīng)濟核算和貿(mào)易交接等活動中所涉及的流體量一般多為質(zhì)量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設(shè)法獲得流體的質(zhì)量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數(shù)后，通過修正、換算和補償?shù)确椒ㄩg接地得到流體的質(zhì)量。這種測量方法，中間環(huán)節(jié)多，質(zhì)量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著現(xiàn)代科學技術(shù)的發(fā)展，相繼出現(xiàn)了一些直接測量質(zhì)量流量的計量方法和裝置，從而推動了流量測量技術(shù)的進步。

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質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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