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轉子的彈簧變形或折斷及旋片動作不靈。應整修或更換彈簧變形,使轉子積旋片配合良好;
真空泵溫太高:①被抽氣體溫度過高。應讓氣體冷卻后再進入真空泵內。
②吸入硬物使真空泵體磨損。應拆開真空泵除去硬物,對劃傷部件進行修復或更換。
③真空泵冷卻水流不夠。應加大冷卻水流量。
④裝配不當,使轉子軸心位移,造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。
真空泵油的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶液造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
我們都知道潤滑油常見的用途是使?jié)櫥瑱C械,減少機械在運行中的摩擦,延遲機械設備的使用壽命。機械設備一旦沒有潤滑油或潤滑不夠,機械設備容易出現(xiàn)在故障,從而影響機械設備的運行。今天小編就為大家講解下普旭真空油的作用。
普旭真空泵油只是潤滑油里面的一種,是普旭真空泵油。真空泵油在真空泵里面作用:潤滑,這是基本的功能。