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【磁控濺射鍍膜設備】應用常見問題
創(chuàng)世威納廠家批發(fā)、市場銷售磁控濺射鍍膜機,人們?yōu)槟饰鲈撋唐返南铝行畔?nèi)容。
磁控濺射鍍膜設備是現(xiàn)階段這種鍍一層薄薄的膜商品,對比傳統(tǒng)式的水電鍍工藝而言,磁控濺射鍍膜設備安全,可以遮蓋,填補多種多樣水電鍍工藝的缺點。磁控濺射機械設備是目前汽車玻璃膜生產(chǎn)加工中的專業(yè)性,與前期或現(xiàn)如今一些假劣汽車玻璃膜生產(chǎn)商仍在采用的著色劑與鍍鋁復合性方式來生產(chǎn)加工窗膜的制作工藝有著本質(zhì)的不同。近些年磁控濺射鍍膜設備技術(shù)性獲得了普遍的運用,現(xiàn)中國磁控濺射鍍膜設備生產(chǎn)廠家許許多多的也十分多,可是致力于磁控濺射鍍膜設備生產(chǎn)制造,閱歷豐富的卻造磁控濺射鍍膜設備生產(chǎn)廠家,就必定會有必須的經(jīng)營規(guī)模,這種磁控濺射鍍膜設備不好像大件的物品,磁控濺射鍍膜設備其科技含量十分的高,購買磁控濺射鍍膜設備時必須要先掌握。
直流磁控濺射技術(shù)
為了解決陰極濺射的缺陷,人們在20世紀開發(fā)出了直流磁控濺射技術(shù),它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點,因而獲得了迅速發(fā)展和廣泛應用。其實在玻璃鍍膜行業(yè),早就解決了氧化問題,我記得早期的low-e玻璃在鍍膜后必須在24小時內(nèi)合成中空,不然就會氧化。其原理是:在磁控濺射中,由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運動軌跡會發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運動,其運動路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,降低薄膜污染的傾向;另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量。同時,經(jīng)過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時,已變成低能電子,從而不會使基片過熱。因此磁控濺射法具有“高速”、“低溫”的優(yōu)點。該方法的缺點是不能制備絕緣體膜,而且磁控電極中采用的不均勻磁場會使靶材產(chǎn)生顯著的不均勻刻蝕,導致靶材利用率低,一般僅為20%-30%。
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磁控濺射
磁控濺射法是在高真空充入適量的ya氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁) 之間施加幾百K 直流電壓,在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電,使ya氣發(fā)生電離。
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