無塵車間接地系統(tǒng)的分哪幾類？

電子設(shè)備接地

還是采用短而粗的導(dǎo)線與地相連, 一般采用 6 mm2  的銅線, 與設(shè)置在設(shè)備附近的專門的接地母排連接, 然后再與總接地干線連接。接地電阻要求不超過10 m。對于個別設(shè)備 , 如產(chǎn)品說明書對接地電阻有特別要求的, 則根據(jù)要求接地。

防雷接地

防雷接地指在雷雨季節(jié)為防止雷電過電壓的保護接地。對于一般建筑而言, 在采取了防雷措施后。

可以將直擊雷與雷電波侵入的雷害的概率降低很多。對于一般電氣設(shè)備, 允許的雷電脈沖較高, 因此采取避雷針 、避雷網(wǎng)防直擊雷等措施是極其有效的。微電子設(shè)備非常靈敏, 耐壓水平很低, 一般只有 10 V左右, 對雷擊電磁脈沖極為敏感, 易受到電磁干擾和損壞。雷擊電磁脈沖因電磁感應(yīng)產(chǎn)生, 并且可以通過電源線 、天線 、信號線的耦合被引入微電子設(shè)備。

過濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應(yīng)用

可將氣溶膠直接從系統(tǒng)風(fēng)機的負壓一側(cè)引入，如要從風(fēng)管中引入，則應(yīng)在距HEPA至少10倍風(fēng)管直徑處引入，并盡量減少拐彎（美國環(huán)境科學(xué)和技術(shù)學(xué)會）。一般情況下，保持上游氣溶膠達到要求濃度，且濃度波動在一定范圍即可。對于層流罩、超凈臺上的HEPA，氣溶膠直接從系統(tǒng)風(fēng)機的負壓一側(cè)引入。

氣溶膠光度計初始化、設(shè)定 100%、0%參比標準值。