無(wú)塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

　然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)

符合以下原則：

　　1、潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

　　2、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。

　　3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

　　壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

車間的設(shè)計(jì)是綜合考慮空氣凈化系統(tǒng)的布置、流型的選擇和管道系統(tǒng)的布置等，進(jìn)行建筑物平面和斷面的設(shè)計(jì)，并在工藝步驟的基礎(chǔ)上，正確處理潔凈室與非潔凈室和不同潔凈室之間的關(guān)系，使要求潔凈度高、潔凈度要求低的房間處于正壓狀態(tài)，提高氣密性。還要注意建筑物內(nèi)部的噪聲控制，隔離外部噪聲干擾，注意防火，以及緊急情況下人員的安全疏散。人員和材料入口應(yīng)分開設(shè)置，以避免人員和物流線之間的往返。純化流線應(yīng)清晰，短而且經(jīng)過(guò)反純化。