鍍鈦是作為金屬材料的表面處理的一種工藝，現(xiàn)在已經(jīng)在工業(yè)領(lǐng)域普遍應(yīng)用并有逐漸推廣使用的意向。在二十世紀(jì)七十年代末，人類就已經(jīng)開始物理氣相沉積技術(shù)，即PVD技術(shù)。物理氣相沉積技術(shù)可以應(yīng)用在硬質(zhì)膜的制造上，它能夠提高產(chǎn)品的機(jī)械化學(xué)性能，使制造出的產(chǎn)品具有高耐磨性、高硬度等性能，還可以減輕摩擦作用。這種技術(shù)在開始使用時(shí)，就在的工具制造業(yè)引起了巨大的反響，受到了高度重視。同時(shí)，這種技術(shù)工藝符合現(xiàn)代人們對環(huán)境無污染加工技術(shù)的要求，是一種綠色環(huán)保的技術(shù)。

離子電流幾乎與氣體流量成正比

簡單耐用。離子電流幾乎與氣體流量成正比，可以獲得更大的離子電流。鎢絲一般穿過出口，受到離子束的沖擊會(huì)很快被腐蝕，特別是對于反應(yīng)性氣體，通常需要十幾個(gè)小時(shí)才能更換。而且鎢絲也會(huì)有一定的污染。解決鎢絲的缺點(diǎn)。有壽命長的中和劑，如小型空心陰極源?；魻栯x子源是應(yīng)用的離子源。離子源，如Veece的MarkI和MarkII。適合大部分國產(chǎn)離子源。

濺射鍍膜的基本原理:充(Ar)氣的真空環(huán)境中

濺射鍍膜的基本原理：充(Ar)氣的真空環(huán)境中，當(dāng)(Ar)原子被電離，形成離子(Ar)時(shí)，離子在電場力的作用下，加速轟擊用鍍料制成的陰極靶，靶將濺射出來并沉積在工件表面。濺射膜中的入射離子，一般是通過輝光放電獲得的，在l0-2Pa~10Pa范圍內(nèi)，因此濺射出的粒子在飛向基體時(shí)，容易與空氣中的氣體分子發(fā)生碰撞，使其運(yùn)動(dòng)方向隨機(jī)，沉積的薄膜容易均勻。