低溫液體泵主要分離心泵和柱塞泵，離心泵流量大、壓力較低，柱塞泵流量小、壓力高。制氧廠應用較廣，主要用于：帶液氧吸附器或上下塔分開流程中的循環(huán)液氧泵；無氫制流程中的循環(huán)粗液泵(粗塔太高還需液空泵)；內壓縮流程中的產品液氧、液氮、液泵(一般流量較低，用柱塞泵。)；灌裝沖瓶泵(柱塞泵)；槽車沖裝泵；調峰供氣泵等。

低溫液體泵的故障原因泵的揚程或流量不足。⑴電機轉速不足。⑵葉輪或管道淤塞。⑶由于密封氣壓過大，有過量的氣進入泵內。排除方法⑴增加轉速。⑵清洗。⑶調節(jié)密封氣壓力。吸附材料在低溫下比無吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡壓力。低溫泵的工作方式是通過表面吸附而進行的，表面積越大對低溫泵的工作性能越有利。因此，合適的吸附材料必須具有較大的比表面和吸附容量。對吸附材料進行表征的物理量主要有：幾何形狀和顆粒大小分布；表面結構；密度；比表面積；孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。目前研究低溫泵的吸附材料主要是通過以上參數的表征而進行的。