多源有機無機蒸發(fā)?系統(tǒng)全自動鈣鈦礦蒸發(fā)鍍膜機報價

多源有機無機蒸發(fā)系統(tǒng)

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主要用途：

用于納米級單層及多層金屬膜、 半導體膜等新材料的制備。廣泛應(yīng)用 于大專院校的薄膜材料科研。

系統(tǒng)組成:

由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺、 真空測量、膜厚測試、電控系統(tǒng)組成。

技術(shù)指標：

極限真空度5.0×10-5Pa，系統(tǒng)漏率：1×10-7PaL/S； 恢復真空時間：40分鐘可達6.6×10 Pa

真空室：D形真空室，尺寸350× 380mm 

樣品臺：尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品；

電極：數(shù)量：4支水冷結(jié)構(gòu)；直徑Φ20㎜

樣品基片:，基片在鍍膜位置實現(xiàn)自轉(zhuǎn)?；臏囟葟氖覝刂?00℃

4套擋板系統(tǒng)：基片擋板與源擋板；靶擋板共有3套， 樣品擋板（１套）

石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999? 

可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)。

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有機無機蒸發(fā)鍍膜儀

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有機無機蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu)，主要由二個有機材料生長室組成，兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接，其中一個生長室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對接接口，能夠完成二套獨立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。有機無機蒸發(fā)鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。前開關(guān)門真空內(nèi)腔，便捷拿取基片、拆換蒸發(fā)舟、加上蒸發(fā)材料及其真空室的平時維護保養(yǎng)。