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國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工,包括:去頭尾、截?cái)唷㈤_(kāi)方等的加工,大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙,浪費(fèi)材料,金剛石帶鋸價(jià)格也不菲。
實(shí)際上,應(yīng)該使用金剛石線鋸機(jī)切割加工,能得到更高的質(zhì)量。
元素環(huán)形金剛石線切割機(jī)的主要性能:
1. 切割晶體尺寸: 300*300 mm
2. 切割線線速度: 小于60 m/s
3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度: 500 mm/s
4. 晶片表面粗糙度: Ra≤ 0.2μm
金剛線切割技術(shù)
金剛線切割技術(shù)也被稱為固結(jié)磨料切割技術(shù)。它是利用電鍍或樹(shù)脂粘結(jié)的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面,將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產(chǎn)生磨削,達(dá)到切割的效果。
金剛線切割具有切割速度快,切割精度高,材料損耗低等特點(diǎn)。切割線的技術(shù)突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍,因此單位產(chǎn)量的折舊、人工和能源成本將降低一半。
金剛石線切割機(jī)
金剛石線切割機(jī)常用的金剛石線有電鍍型和樹(shù)脂型兩種。
1、電鍍型:用電鍍的方法在金屬絲上沉積一層金屬(一般為鎳和鎳鈷合金),并在金屬內(nèi)固結(jié)金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。金屬鍍層是結(jié)合劑,金剛石磨料則用于切削加工。
2,、樹(shù)脂型:樹(shù)脂金剛石線是在原有鍍銅超細(xì)鋼絲線上噴涂一種增強(qiáng)耐磨合金、特種樹(shù)脂和金剛石超微粉的切割線,主要應(yīng)用于單晶硅、多晶硅、藍(lán)寶石、水晶、陶瓷和半導(dǎo)體材料的切割上,能取代目前碳化硅砂漿法,解決了環(huán)境污染。