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各類使用parylene涂層的優(yōu)點(diǎn)
? 心臟輔助器——如心臟起搏器及電震發(fā)生器中的精密電子線路,用parylene封住可防止受到生物液體腐蝕,保護(hù)金屬外殼。
? 壓力傳感器——如血壓傳感器,沉積少量parylene就能充分絕緣,且不會(huì)明顯改變這些器件的操作。
? 替代性器件——如復(fù)原性人造器件,用parylene保護(hù)可消除與顯微輸送有關(guān)的問(wèn)題,并能防止生物液體的腐蝕。
? 超聲波換能器——用于觀測(cè)血管內(nèi)壁的微型傳感器,用parylene后,可防止腐蝕和擊穿。
? 骨質(zhì)生長(zhǎng)——用parylene后可使此器件與生物液體隔離,人體細(xì)胞易與parylene表面增長(zhǎng)形成同結(jié)構(gòu)的薄層組織。
? 腦部探針——用parylene可使腦部刺激探針表面潤(rùn)滑,并可使其進(jìn)行選擇性絕緣。
? 導(dǎo)尿管——用parylene保護(hù)可提供良好的潤(rùn)滑性并防止生物液的腐蝕。
? 骨釘——parylene保護(hù)骨釘不受腐蝕,且可潤(rùn)滑無(wú)需降低尺寸限制。
細(xì)銅線的絕緣漆在嚴(yán)格的繞線操作時(shí)會(huì)被損壞,尤其是對(duì)較小的環(huán)形和圓筒型器件需要用一個(gè)涂層,它不僅能提供絕緣而且也能消除摩擦引起的繞線時(shí)對(duì)線的損傷。Parylene高的絕緣強(qiáng)度和它的干膜潤(rùn)滑性能使它完全能適合于這種應(yīng)用。
繞線窗空間
在使用NYLON(尼龍)或PTFE(聚四氟乙烯)涂層時(shí)由于增加了這些涂層繞線窗空間減小了,同時(shí)由于表面張力使涂層
在棱刃和角邊處很薄對(duì)防摩擦作用不大。Parylene涂層較薄且厚度均勻使繞線器件能保持大的繞線窗,這種隨之伴有的大繞線空間使它可用作有較好性能參數(shù)的有涂層產(chǎn)品。
放電產(chǎn)生的正離子在電場(chǎng)作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點(diǎn)的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法,即將反應(yīng)氣體 (O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法。