過(guò)濾器安裝以后必須要進(jìn)行檢漏；要計(jì)算 DOP 的發(fā)塵量及系統(tǒng)風(fēng)量，確定DOP 導(dǎo)入地點(diǎn)；要測(cè)量過(guò)濾器上游的粒子濃度；根據(jù)規(guī)范按 0.5μm 的粒徑來(lái)檢漏，需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來(lái)檢漏，建議可按 ISO14644-3 的標(biāo)準(zhǔn)來(lái)確定 K 值；建議采用 28.3 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器來(lái)檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計(jì)數(shù)器，必須控制掃描速度。

和超過(guò)濾器均用于潔凈室末端，以其結(jié)構(gòu)形式可分為有：有隔板過(guò)濾器、無(wú)隔板過(guò)濾器、大風(fēng)量過(guò)濾器,超過(guò)濾器等。另外還有三種過(guò)濾器，一種是超過(guò)濾器，能做得到凈化99.9995%。一種是型無(wú)隔板空氣過(guò)濾器，具有作用，阻止細(xì)菌進(jìn)入潔凈車(chē)間，一種是亞過(guò)濾器，價(jià)格便宜以前多用于要求不高的凈化空間。

過(guò)濾器阻力調(diào)配 各個(gè)過(guò)濾器的阻力差別會(huì)影響風(fēng)量平衡和氣流均勻，安裝時(shí)應(yīng)將阻力過(guò)高或過(guò)低的個(gè)別空氣過(guò)濾器剔除，將阻力大小相近的空氣過(guò)濾器安排在同一房間中，同一房間中不同阻力的空氣過(guò)濾器也宜均勻分散位置。對(duì)于單向流潔凈室同一送風(fēng)面上的空氣過(guò)濾器，對(duì)阻力差值的要求更重要，按《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》規(guī)定，應(yīng)符合以下關(guān)系：每臺(tái)阻力實(shí)際值（額定風(fēng)量下）=（0.95~1.05）×送風(fēng)面上各臺(tái)實(shí)際阻力平均值