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將細胞、蛋白質(zhì)、病原體、病毒、DNA等用納米級的磁性小顆粒來標(biāo)記,也就是磁化這些被探測的對象,再用高靈敏度的GMR磁阻傳感器來探測它們的具體位置。這種應(yīng)用方式在醫(yī)學(xué)及臨床分析、DNA分析、環(huán)境污染監(jiān)測有非常重要意義。
基于TMR效應(yīng)的自旋閥生物磁傳感器與傳統(tǒng)電化學(xué)分析、壓電晶體檢測方法相比具有精度高、體積小的優(yōu)勢,主要用于病變部位的非接觸式探測、室溫心磁圖檢測、生物分子識別分析等。
磁性傳感器還可用于準(zhǔn)備樣本的簡單離心機,它用來幫助控制小型電機,使其變得更加安靜和可靠。在助聽器領(lǐng)域,應(yīng)用了巨磁阻傳感器IC (GMR)與霍爾。
隨著超精密加工和微電子制造技術(shù)的迅速發(fā)展,對精密測量技術(shù)及儀器提出了在毫米級的測量范圍內(nèi)達到納米級精度的要求,例如超精密數(shù)控加工精度已達納米量級,微電子芯片制造技術(shù)已是納米級制造工藝,因此無論是超精密數(shù)控機床的運動測量與定位,還是集成電路芯片線寬等特征尺寸測量、光掩膜制作以及晶圓掃描工作臺的運動測量與定位,均需要納米級精度的精密測量儀器。這些技術(shù)有望在蛋白質(zhì)折疊、RNA聚合酶合等研究領(lǐng)域提供單分子層次的信息。此外,精密測試計量技術(shù)領(lǐng)域中,各種掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、光柵尺和其他位移傳感器等也離不開納米級精度的精密測量儀器的校準(zhǔn)或標(biāo)定。
從20世紀(jì)50年代至70年代,柵式測量系統(tǒng)從感應(yīng)同步器發(fā)展到光柵、磁柵、容柵和球柵,這5種測量系統(tǒng)都是將一個柵距周期內(nèi)的測量和周期外的增量式測量結(jié)合起來,測量單位不是像激光一樣的光波波長,而是通用的米制(或英制)標(biāo)尺。
電容式傳感器ZNX實際的基本包括了一個接收Tx與一個發(fā)射qiRx,其分別都具有在印刷電路板(PCB)層上成形的金屬走線。此外,多軸聯(lián)動系統(tǒng)的輪廓誤差由各伺服軸的運動誤差耦合得到,耦合誤差的建模及各軸相應(yīng)的補償控制量的計算都需要大量的齊次坐標(biāo)變換運算,這為實際的多軸聯(lián)動耦合控制器的設(shè)計帶來了很大的不便。在接收qi與發(fā)射走線之間會形成一個電場。電容傳感器卻可以探測與傳感器電極特性不同的導(dǎo)體和盡緣體。當(dāng)有物體靠近時,電極的電場就會發(fā)生改變。從而感應(yīng)出物體的位移變化量。