潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點

潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同，它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導體器件廠房內(nèi)，在硅襯底上只要落有電路線寬1/10～1/3大小的塵埃，就可能導致芯片電路短路。工作人員進入無菌室前，必須用肥皂或消毒液洗手消毒，然后在緩沖間更換專用工作服，鞋，帽子，口罩和手套(或用70%的乙醇再次擦拭雙手)，方可進入無菌室進行操作。如今，半導體集成電路的發(fā)展突飛猛進，近英特爾公司更是推出了采用32

nm線寬的處理器芯片，把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外，還對溫度、濕度、震動、噪音等都有不同程度要求。

 同時，由于半導體器件生產(chǎn)工藝的特點，要求潔凈廠房內(nèi)全天（24h)保持相應的潔凈度，目此，潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應的輸送系統(tǒng)需每天24

h運行，這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運行時間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA） 進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

   優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

   缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

凈化空調(diào)系統(tǒng)組合式空調(diào)器安裝：

（1）安裝前應檢查產(chǎn)品合格證，理解安裝說明書，熟悉各功能段的安裝設置

（2）檢查安裝基礎的強度，坐標位置，大小，標高及水平度，以減少因傾斜引起的運轉噪聲和振動。

（3）對設備內(nèi)部進行清洗，擦拭清除塵雜物和油污。檢查送回風機是否有雜物，手動旋轉葉輪時是否有異響。

（4）檢查設備各檢修門是否平整，啟閉是否正常，密封是否脫落，關門檢查箱體是否有漏光，空調(diào)允許漏風率不大于2％。

（5）檢查設備內(nèi)表冷器是否有明顯損壞，隨機配套風量調(diào)節(jié)是否啟閉正常，對表冷器碰歪的翅片應以校正。

（6）空調(diào)器送回風風口與風管連接處應采取柔性連接。

（7）設備運轉前應檢查機內(nèi)初中效過濾器是否有明顯洞孔，松脫。

在平時，工作人員除了需要定期進行盆浴或淋浴外，還應當定期洗頭。保持身體的清潔，盡量減少死皮數(shù)量。同時，在每次進入無塵車間之前，都應該對手進行徹底的清潔。平時看起來挺干凈的手，其實也是一大污染源，能夠將污染物從一處傳到另一處。在清洗的時候，尤其應該注意指甲、指甲根部和手上的傷處。凈化車間工程的氣流組織與一般空調(diào)房間有所不同，它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位，它的作用在于限制和減少對加工物的污染。

在高度潔凈區(qū)域工作的人員，應該保證健康狀況良好。避免將病毒帶入無塵車間內(nèi)，對無塵車間的環(huán)境造成破壞。