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隨著工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)材料的綜合性能要求也不斷提高,單一材料性能已不能滿足某些特定環(huán)境下工作機(jī)械的性能要求。在玻璃上,鍍涂一層TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃。國(guó)內(nèi)真空離子鍍膜機(jī)經(jīng)過(guò)幾十年的發(fā)展,相對(duì)于國(guó)外鍍膜設(shè)備而言,在自動(dòng)化程度與技術(shù)上取得了一定的進(jìn)步,但在鍍膜產(chǎn)品穩(wěn)定性和性方面尚需提升,設(shè)備仍依賴進(jìn)口。同時(shí)多弧離子鍍膜機(jī)低端產(chǎn)品市場(chǎng)存在供大于求的情況,價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)較為激烈。
鍍膜技術(shù)在集成電路制造中的應(yīng)用 晶體管路中的保護(hù)層(SiO2、Si3N4)、電極管線(多晶硅、鋁、銅及其合金)等多是采用CVD技術(shù)、PVCD技術(shù)、真空蒸發(fā)金屬技術(shù)、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)。可見(jiàn)氣相沉積術(shù)制備集成電路的核心技術(shù)之一。
真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
1、鍍膜技術(shù)在裝飾品方面的應(yīng)用
隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和生活水平的提高,人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內(nèi)外裝飾件、五金箱包、手機(jī)殼、手機(jī)視屏、衛(wèi)生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽紛。
2、鍍膜技術(shù)在刀具、模具等金屬切削加工工具方面的應(yīng)用
在生活中我們會(huì)看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經(jīng)過(guò)鍍膜技術(shù)加工后的涂層工具。
鍍膜技術(shù)在建筑玻璃和汽車玻璃上的應(yīng)用
建筑玻璃有透光和隔熱兩個(gè)基本功能。對(duì)于大面積鍍膜,常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。普通玻璃能透過(guò)絕大部分太陽(yáng)光輻射能量,這對(duì)采光和吸收太陽(yáng)光線的能量十分有利。而對(duì)于空間紅外輻射,普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過(guò)室外,但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會(huì)造成很大的損失。隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,普通玻璃已越來(lái)越不能滿足人們的要求。
鍍膜技術(shù)在平板顯示器中的應(yīng)用
所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜,而且?guī)缀跛蓄愋偷钠桨屣@示器件都需要使用ITO膜,以滿足透明電器的要求??梢院敛豢鋸埖恼f(shuō):沒(méi)有薄膜技術(shù)就沒(méi)有平板顯示器件