烘箱又稱干燥爐、電熱鼓風(fēng)烘箱、熱風(fēng)循環(huán)烘箱等。這是一種在固定的盒子里控制恒溫的裝置。

工業(yè)和科學(xué)研究中使用的烤箱不同于家庭主婦使用的廚房燒烤烤箱，后者不用于烘烤食物。工業(yè)烘箱溫度范圍寬，控溫精度高，長期穩(wěn)定運行，甚至可以選擇帶真空功能的真空烘箱。上述特性決定了它可以廣泛用于高溫實驗、熱處理和干燥處理的各種目的。有許多行業(yè)需要它，如化工、電子通訊、塑料、電纜、電鍍、五金、汽車、光電、橡膠制品、模具、噴涂、印刷、航空航天等行業(yè)。從事這些行業(yè)的朋友會不時使用我們的干燥箱進行各種測試和實驗。

高溫烤箱的發(fā)熱原理

高溫烤箱 是一種密封的用來烘烤食物或烘干產(chǎn)品的電器，分為家用烤箱和工業(yè)烤箱。 家用烤箱可以用來加工一些面食。如面包，pizza，也可以做蛋塔、小餅干之類的點心。還有些烤箱可以烤雞肉。做出的食物通常香氣撲鼻。 工業(yè)烤箱，為工業(yè)上用來烘干產(chǎn)品的一種設(shè)備，有電的有瓦l斯，又叫烤爐、烘干箱等。高溫烤箱在正常工作時，一般很容易造成熱量的損失，比如通過烤箱外部表面散失的熱量，加熱物料及輸送物料移動部分所需的熱量，加熱所需的熱量，加熱補充新鮮空氣所需的熱量，物料出入口及門縫散失的熱量，對以上各部分熱量進行相加。

   烘箱的熱風(fēng)循環(huán)加熱方式，與普通的散熱加熱方式相比，有著更好的氣體流動性，能加快工業(yè)烘箱內(nèi)物料的干燥速度?！　?     

      烘箱原理：烘箱在工作時，操作人員通過儀表和感溫器來獲得烘箱內(nèi)部的溫度值，在通過控制系統(tǒng)進行操作。　　      

      時代在不斷的發(fā)展，行業(yè)間的競爭更是技術(shù)之間的競爭，產(chǎn)品自身唯有不斷創(chuàng)新改革，提升技術(shù)含量，才能滿足市場和用戶的需求，才能在市場上立于不敗之地。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。