過濾器安裝以后必須要進行檢漏；要計算 DOP 的發(fā)塵量及系統(tǒng)風量，確定DOP 導入地點；要測量過濾器上游的粒子濃度；根據(jù)規(guī)范按 0.5μm 的粒徑來檢漏，需要確定正確的K值。如果采用不是0.5μm的粒徑來檢漏，建議可按 ISO14644-3 的標準來確定 K 值；建議采用 28.3 L/min 的粒子計數(shù)器來檢漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子計數(shù)器，必須控制掃描速度。

和超過濾器均用于潔凈室末端，以其結構形式可分為有：有隔板過濾器、無隔板過濾器、大風量過濾器,超過濾器等。另外還有三種過濾器，一種是超過濾器，能做得到凈化99.9995%。一種是型無隔板空氣過濾器，具有作用，阻止細菌進入潔凈車間，一種是亞過濾器，價格便宜以前多用于要求不高的凈化空間。

過濾器阻力調配 各個過濾器的阻力差別會影響風量平衡和氣流均勻，安裝時應將阻力過高或過低的個別空氣過濾器剔除，將阻力大小相近的空氣過濾器安排在同一房間中，同一房間中不同阻力的空氣過濾器也宜均勻分散位置。對于單向流潔凈室同一送風面上的空氣過濾器，對阻力差值的要求更重要，按《潔凈室施工及驗收規(guī)范》規(guī)定，應符合以下關系：每臺阻力實際值（額定風量下）=（0.95~1.05）×送風面上各臺實際阻力平均值