風速的控制潔凈棚內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準之時，能以適當?shù)娘L速供應(yīng)，以達到適當?shù)娘L速供應(yīng)以達到經(jīng)濟性效果。相對傳統(tǒng)無塵室，具有成本低、施工快、且對樓層高度要求低的優(yōu)勢。

另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。不同的場合，不同的生產(chǎn)需要，我們可以靈活的選擇不同類型的潔凈工作棚。垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風速不可有速度上的差異；(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

潔凈棚公司的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。源泰爾總公司在深圳，注冊資金為500萬元人民1幣地址在深圳市南山區(qū)西麗鎮(zhèn)，是中國暖通爭化行業(yè)理事單位。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

隨著工業(yè)生產(chǎn)水平的提高和進步，電子產(chǎn)品的直徑越來越小，生產(chǎn)廠家對空氣的潔凈度和對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈等級要求的也是越來越高，如果整個無塵車間都按照所需的潔凈度去建造的話，那么建設(shè)成本是個很大的負擔，因此為了降低建造成本和產(chǎn)品的靈活運用，又能保證生產(chǎn)環(huán)境的要求，潔凈棚這個局部和區(qū)域性的凈化設(shè)備就隨之給生產(chǎn)廠家?guī)砹朔奖愫涂旖莸臒o塵環(huán)境。潔凈棚公司通常都是建在潔凈室內(nèi)，所以不需要考慮風淋室、傳遞窗以及空調(diào)送風系統(tǒng)，這些就大大節(jié)約了成本，總的來說潔凈棚的建造成本是無塵車間的40%-60%。