安裝質(zhì)量不好將會使壓升率達不到技術(shù)要求，長期使用之后，真空爐的壓升率也會增大。當真空度壓升率惡化到一定程度后，處理零件的表面質(zhì)量下降，加熱元件的使用壽命會明顯降低，這是需要對爐子檢漏，并排除漏氣原因。檢漏及排除漏氣因素的目的就是使漏氣率達到技術(shù)條件要求。1）由于存在漏孔產(chǎn)生的漏氣；2）由滲透產(chǎn)生的漏氣；滲透式指氣體不是通過固體中的漏孔方式漏氣的現(xiàn)象，而是氣體吸附在固體的高壓一側(cè)表面上，然后沿濃度梯度向固體低壓的一側(cè)擴散。在真空爐中的金屬、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以滲透氣體的。

爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。

機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎(chǔ)上，工件移動、氣壓調(diào)節(jié)、功率調(diào)節(jié)等均可預(yù)先編程設(shè)定，按步驟實施淬火和回火。

能耗顯著低于鹽浴爐?，F(xiàn)代先進的真空爐加熱室采用隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內(nèi)，節(jié)能效果顯著。

隨著相關(guān)技術(shù)的不斷進步，不僅真空熱處理設(shè)備取得了較大的發(fā)展，與其相關(guān)的配套設(shè)施也取得了長足的進步。目前我國已經(jīng)能夠生產(chǎn)各個種類的真空泵、真空閥、真空測量儀器等，甚至一些以前無法實現(xiàn)自主生產(chǎn)的配套產(chǎn)品也實現(xiàn)了自產(chǎn)(如爐內(nèi)使用的由金屬和石墨材質(zhì)制成的保溫層和發(fā)熱元件等)，并且其性能和質(zhì)量已經(jīng)接近或已達到了國外同類產(chǎn)品的水平。相關(guān)配套產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展有效地促進了我國真空熱處理水平的整體進步。