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速度和易用性
Admesy 堅信在開發(fā)和生產(chǎn)設(shè)備過程中速度和易用性是較核心的要素。為了達(dá)到這方面要求,Admesy 非常注重光譜儀的以下幾個方面:
波長校準(zhǔn)
? 暗電流
? 線性度
? 絕i對校準(zhǔn)
計算和補償都能在 14ms 內(nèi)完成。這些能實現(xiàn)都得益于 Hera 自身的高速處理器及其獨有的運算方法。在生產(chǎn)過程中,不需要外界電腦的計算。數(shù)據(jù)可直接應(yīng)用于生產(chǎn)設(shè)定且沒有任何延i時。這大大節(jié)省了操作系統(tǒng)在生產(chǎn)線上的處理時間。并且 Hera 光譜儀還具備自適應(yīng)調(diào)節(jié)的功能:自動選擇良好積分時間。同時這個積分時間我們也可以手動調(diào)整。
光譜儀
光譜儀又稱分光儀,廣泛為認(rèn)知的為直讀光譜儀。以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。它由一個入射狹縫,一個i色散系統(tǒng),一個成像系統(tǒng)和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域,并在選定的波長上(或掃描某一波段)進(jìn)行強度測定。分為單色儀和多色儀兩種。
光譜儀分類
光譜儀的種類很多,分類方法也很多,根據(jù)光譜儀所采用的分解光譜的原理,可以將其分成兩大類:經(jīng)典光譜儀和新型光譜儀。經(jīng)典光譜儀是建立在空間色散(分光)原理上的儀器;新型光譜儀是建立在調(diào)制原理上的儀器,故又稱為調(diào)制光譜儀。
經(jīng)典光譜儀依據(jù)其色散原理可將儀器分為:棱鏡光譜儀、衍射光柵光譜儀、干涉光譜儀。
光譜儀的透射測定
光譜儀的透射率或它的效率可用輔助單色儀裝置來測定。在可見和近紫外實現(xiàn)這些測量沒有任何困難。測量通過第i一個單色儀的光通量,緊接著測量通過兩個單色儀的光通量,以這種方式來確定第二個單色儀的透射率。
絕i對測量需要知道單色儀的絕i對透射率:對于相對測量,以各種波長處的相對單位可以測量透射率。真空紫外線的這些測量有相當(dāng)大的實驗困難,因此通常使用輔助單色儀。在各種入射角的情況下分別測量衍射光柵的效率。在許多實驗步驟中已成功地避免了校準(zhǔn)上的困難。
曾經(jīng)研究過光柵效率與波長、入射角、鍍層厚度、鍍層材料以及其它因素的關(guān)系。所有這些測量都指出,在許多情況下能量損失是非常顯著的,并且光柵的效率低于1%,光柵的不同部分可能有明顯不同的效率。