無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉(cāng)庫(kù)以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說話，全國(guó)各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無塵車間凈化工程的凈化原理

氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機(jī)加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃 → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。  

重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。  

技術(shù)參數(shù)  

換氣次數(shù)：十萬級(jí)10－15次/小時(shí)；  

萬級(jí)15－25次/小時(shí)；  

千級(jí)50－52次/小時(shí);  

百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；  

壓差：主車間對(duì)相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≥10Pa；  

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；  

相對(duì)濕度：45－65％（RH）；  

噪聲≤65dB（A）；  

新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20％－30％；    

照度：≥300Lux。  

結(jié)構(gòu)材料  

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。  

2.地面采用環(huán)氧自流平或耐磨塑料潔凈地板。  

3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

無塵車間潔凈度等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644的本部分ISO分級(jí)的各級(jí)別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測(cè)試的程序,而且確定了測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)方法.

為劃分等級(jí),ISO 14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級(jí)用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級(jí)標(biāo)識(shí).  

ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn).除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮.