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PVD鍍膜加工
PVD鍍膜加工在影響產(chǎn)品質(zhì)量的五大因素〔操作者、設(shè)備、材料、工藝方法及生產(chǎn)環(huán)境)中,人是位的。PVD鍍膜故障的發(fā)生都與操作工專(zhuān)業(yè)技能和工作責(zé)任心有關(guān)。PVD鍍膜生產(chǎn)管理人員對(duì)操作工指導(dǎo)和監(jiān)督不力,這些在PVD鍍膜企業(yè)較普遍存在的狀況,PVD鍍膜使得故障在所難免。要減少PVD鍍膜生產(chǎn)故障,提高PVD鍍膜從業(yè)人員的專(zhuān)業(yè)技能和工作責(zé)任心是十分重要的。
真空鍍膜技術(shù)是一種新穎的材料合成與加工的新技術(shù),是表面工程技術(shù)領(lǐng)域的重要組成部分。真空鍍膜技術(shù)是利用物理、化學(xué)手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜,從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、、防輻射、導(dǎo)電、導(dǎo)磁、絕緣和裝飾等許多優(yōu)于固體材料本身的優(yōu)越性能,達(dá)到提高產(chǎn)品質(zhì)量、延長(zhǎng)產(chǎn)品壽命、節(jié)約能源和獲得顯著技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益的作用。因此真空鍍膜技術(shù)被譽(yù)為發(fā)展前途的重要技術(shù)之一,并已在高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展中展現(xiàn)出誘人的市場(chǎng)前景。這種新興的真空鍍膜技術(shù)已在國(guó)民經(jīng)濟(jì)各個(gè)領(lǐng)域得到應(yīng)用,如航空、航天、電子、信息、機(jī)械、石油、化工、環(huán)保、軍事等領(lǐng)域。
2.2.2偏壓濺射biassputtering:在濺射過(guò)程中,將偏壓施加于基片以及膜層的濺射。
2.2.3直流二級(jí)濺射directcurrenodesputtering:通過(guò)二個(gè)電極間的直流電壓,使氣體自持放電并把靶作為陰極的濺射。
2.2.4非對(duì)稱流濺射asymmtricalternatecurrentsputtering:通過(guò)二個(gè)電極間的非對(duì)稱流電壓,使氣體自持放電并把靶作為吸收較大正離子流的電極。
2.2.5高頻二極濺射highfrequencydiodesputtering:通過(guò)二個(gè)電極間的高頻電壓獲得高頻放電而使靶極獲得負(fù)電位的濺射。
2.2.6熱陰極直流濺射(三極型濺射)hotcathodedirectcurrentsputtering:借助于熱陰極和陽(yáng)極獲得非自持氣體放電,氣體放電所產(chǎn)生的離子,由在陽(yáng)極和陰極(靶)之間所施加的電壓加速而轟擊靶的濺射。