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發(fā)布時間:2020-09-12 16:21  









1.6 蝕刻

可用兩種方法進行蝕刻: A、電解法:電流 15-50A,電壓 3-5V,電解液:20%氯化銨、20%硫酸,陽極用鈦板。電解過程中及時去掉陽極上浮 留電解銅,以保證電流正常通過。 B、三氯化鐵法:選用較純的三氯化鐵泡成 30 波氏度溶液,流 動腐蝕。由于電解蝕刻是在金屬導電的情況下形成蝕刻的,那么我們的產(chǎn)品在蝕刻下去有任何的深度時側(cè)面也將被蝕刻的,這樣很多精細圖案,精細文字將被蝕刻”爛“掉。同一個版面要達到深淺不同效果,要在頭次達到淺度要求 后,清洗表面,烘干。在已達到淺度蝕刻處涂上(印上)普通耐蝕刻 油墨,再行二次蝕刻。 1.7 除膜 將已蝕刻完畢的銅板放在水、 30∶1∶0.1 溶液 中加溫至 70℃除膜、清洗出光。 1.8 電鍍 除膜后的銅板圖案已經(jīng)很亮,很細,無須再行鍍亮銅,可直接 進行鍍鎳 40-90 秒,再行鍍金、鍍銀。



溫度的影響

蝕刻速率與溫度有著很大的關系, 蝕刻速率會隨著溫度升高而加快。 蝕刻液溫度低 于 40℃﹐蝕刻速率會很慢﹐而蝕刻速率過慢則會增大側(cè)蝕量﹐影響蝕刻質(zhì)量。要更進一步地改善,可以透過對板中心和邊緣處不同的噴淋壓力,以及對板前沿和板后端采用間歇蝕刻的方法﹐達到整個板面的蝕刻均勻性。 當溫度高于 60℃﹐蝕刻速率會明顯地增大, 但 NH3 的揮發(fā)量也大大地增加﹐導致環(huán)境污染并使蝕刻液中 化學組份比例失調(diào)。 故一般應控制在 45℃~55℃為宜。

蝕刻液的調(diào)整

自動控制調(diào)整 隨著蝕刻的進行, 蝕刻液中銅的含量不斷增加﹐比重亦逐漸升高。 當蝕刻液中銅濃 度達到一定的高度時就要及時調(diào)整。蝕刻標牌是指金屬標牌的圖片與金屬表面不在同一個表面,并以蝕刻的方式而制成。 在自動控制補加裝置中﹐是利用比重控制器來控制蝕 刻液的比重。 當比重升高時﹐會自動排放出溶液﹐并添加新的補加液﹐使蝕刻液的比重調(diào) 整到允許的范圍。 補加液要事先配制好并放入補加桶內(nèi)﹐使補加桶的液面保持在一定的高 度。



化學蝕刻(Chemical etching)-- 氣態(tài)物質(zhì)(中性原子團)與表面反應, 產(chǎn)物必定易揮發(fā),也稱為等離子蝕刻。 等離子增強蝕刻(Ion-enhanced etching)—單獨使用中性原子團不能形成易揮發(fā)產(chǎn)物,具有一定 能量的離子改變襯底或產(chǎn)物;具有一定能量的離子改變襯底或產(chǎn)物層,這樣,化學反應以后 能生成揮發(fā)性物質(zhì),亦稱為反應離子蝕刻(RIE) 。 濺射蝕刻(Sputter etching)--具有一定能量的離子機械的濺射襯底材料。主要用做研究實驗機,或者簡單的在金屬上蝕刻標記,也稱為電打標。 蝕刻速率(Etch rate)--材料的剝離速率,通常以?/min,?/sec,nm/min, um/min 為單位計 量。 各向同性蝕刻( Isotropic etch)-- 蝕刻速率在所有方向都是相同的。


注: a.烘干速度應與堿洗速度相同; b.水洗時水量較大,要確保沖洗干凈。 (4)注:開機運行到設定溫度后(約 15~20 分鐘),方可測試酸液及堿液的濃度,其在規(guī)定范圍內(nèi)可進行生產(chǎn)。

二、酸溶液的配制 1.酸液 1)第二槽酸液配制方法: a.開槽配 360 升左右酸液 b.配制比例: 鹽酸 HCL(36~38%) : 純水 H2O 1 : 1.5 c.取 178 升的 HCL 慢慢加入 267 升純水中(邊攪拌邊加入) 。金屬蝕刻工藝流程1、金屬的種類不同,其蝕刻工藝的流程也不同,但大致的工序如下:焊邊:需要電烙鐵、焊劑、焊料等。配好后測試酸的當量濃度,在范圍內(nèi)方可使用。



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